Електростатичний memc-перетворювач як основа реалізації мікроелектронного акселерометра ; Electrostatic mems- transducer as a basis for realization of microelectronic accelerometer

Authors: Таранчук, А.А., Слободян, В.О., Осадчук, О.В., Taranchuk, A.A., Slobodian, V.О., Оsadchuk, A.V.

Subject Terms: мікроелектромеханічна система, електростатичний перетворювач, акселерометр, зовнішнє збурення, рухомий електрод, змінна ємність, вимірювання прискорення, micro electromechanical system, electrostatic transducer, accelerometer, external disturbance, a movable electrode, a variable capacitance, measuring the acceleration, 621.39+621.38.049.77

File Description: application/pdf

Relation: Таранчук, А.А. Електростатичний memc-перетворювач як основа реалізації мікроелектронного акселерометра [Текст] / А. А. Таранчук, В. О. Слободян, О. В. Осадчук // Вісник Хмельницького національного університету. Технічні науки. – 2018. – № 6, т. 2. – С. 171-177.; http://elar.khmnu.edu.ua/jspui/handle/123456789/7459

Availability: http://elar.khmnu.edu.ua/jspui/handle/123456789/7459