Use of the determined properties of a roughness of a surface in measurement of a geometrical form of object ; Использование детерминированных свойств шероховатости поверхности в измерении геометрической формы объекта ; Використання детермінованих властивостей шорсткості поверхні у вимірі геометричної форми об’єкту

Authors: Dzubenko, M. I., Kolpakov, S. N., Popov, I. V., Pryyomko, A. A.

Contributors: Національна академія наук України

Source: Физическая инженерия поверхности; Том 11, № 3 (2013): Фізична інженерія поверхні; 254 - 259 ; Фізична інженерія поверхні; Том 11, № 3 (2013): Фізична інженерія поверхні; 254 - 259 ; 1999-8112 ; 1999-8074

Subject Terms: surface, roughness, diffraction grating, coherent radiation, поверхность, шероховатость, дифракционная решетка, когерентное излучение, поверхня, шорсткість, дифракційні грати, когерентне випромінювання

File Description: application/pdf

Relation: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8755/8277; http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8755

Availability: http://periodicals.karazin.ua/pse/article/view/8755