Аналіз технології отримання вуглецевих плівок

Συνεισφορές: ELAKPI

Θεματικοί όροι: газотранспортні реакції, алмазоподібні вуглецеві плівки, магнетронне розпилення, CVD, лазерне розпилення

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772

Аналіз технології отримання вуглецевих плівок

Συγγραφείς: Зелінський, Дмитро Володимирович, Семікіна, Тетяна Вікторівна

Πηγή: Матеріали XІІІ-ї науково-практичної конференції «Перспективні напрямки сучасної електроніки», КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ, 4 квітня 2019 р.

Θεματικοί όροι: алмазоподібні вуглецеві плівки, магнетронне розпилення, лазерне розпилення, газотранспортні реакції, CVD

Time: 621

Περιγραφή αρχείου: С. 112-120; application/pdf

Relation: Зелінський, Д. В. Аналіз технології отримання вуглецевих плівок / Зелінський Д. В., Семікіна Т. В. // Перспективні напрямки сучасної електроніки : матеріали XІІІ науково-практичної конференції (4 квітня 2019 р., м. Київ) / КПІ ім. Ігоря Сікорського, ФЕЛ. – Київ : КПІ ім. Ігоря Сікорського, 2019. – С. 112-120. – Бібліогр.: 4 назви.; https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772

Διαθεσιμότητα: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772