Осаждение многослойного покрытия в газометаллическом пучково-плазменном образовании при низком давлении

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2021. Т. 64, № 1. С. 125-129

Subject Terms: плазменное ассистирование, вакуумно-дуговое осаждение, многослойные покрытия, пучково-плазменные образования, газометаллическая плазма, разряды низкого давления

File Description: application/pdf

Access URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000796277

Излучение многокомпонентной плазмы импульсного отражательного разряда

Authors: Ковтун, Ю. В., Скибенко, А. И., Скибенко, Евгений Иванович, Ларин, Ю. В., Юферов, Владимир Борисович

Subject Terms: разряд Пеннинга, филипсовский разряд, газометаллическая плазма, элементный состав, газопаровые смеси

File Description: application/pdf

Relation: Излучение многокомпонентной плазмы импульсного отражательного разряда / Ю. В. Ковтун [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Техника и электрофизика высоких напряжений. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2009. – № 39. – С. 101-108.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/31679

Availability: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/31679

Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Contributors: Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/3. С. 87-92

Subject Terms: плазма, нитридные покрытия, плазменное ассистирование, дуговой разряд, вакуумно-дуговое осаждение, газометаллическая плазма

File Description: application/pdf

Access URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502137

Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий

Authors: Крысина, Ольга Васильевна, Лопатин, Илья Викторович, Шугуров, Владимир Викторович, Коваль, Николай Николаевич

Contributors: Томский государственный университет Физический факультет Кафедра физики плазмы, Томский государственный университет Физический факультет Научные подразделения ФФ

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2014. Т. 57, № 11/3. С. 87-92

Subject Terms: дуговой разряд, газометаллическая плазма, плазма, вакуумно-дуговое осаждение, плазменное ассистирование, нитридные покрытия

File Description: application/pdf

Relation: vtls:000502137; https://openrepository.ru/article?id=320210

Availability: https://openrepository.ru/article?id=320210