Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов

Πηγή: Вестник науки Сибири

Θεματικοί όροι: сегнетоэлектрические материалы, алмазоподобные пленки, гетероструктуры, высокочастотное распыление, физика, формирование, алмазоподобные материалы, ВЧ-распыление, технологические возможности, сегнетоэлектрические пленки

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939

Технологические возможности формирования тонкопленочных гетероструктур на основе алмазоподобных и сегнетоэлектрических материалов

Συγγραφείς: Афанасьев, Михаил Сергеевич, Лучников, Петр Александрович, Митягин, Александр Юрьевич, Чучева, Галина Викторовна

Πηγή: Вестник науки Сибири

Θεματικοί όροι: физика, гетероструктуры, формирование, технологические возможности, алмазоподобные материалы, сегнетоэлектрические материалы, сегнетоэлектрические пленки, алмазоподобные пленки, ВЧ-распыление, высокочастотное распыление

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: Вестник науки Сибири. 2012. № 1 (2); http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15939