-
1Academic Journal
Source: Photoelectronics; № 26 (2017); 62-67
Subject Terms: наностовбчик, атомно-шарове осадження, нанокомпозит, nanopillars, atomic layer deposition, nanocomposites, наностолбик, атомно-слоевое осаждение, 7. Clean energy
File Description: application/pdf