E-beam resist AR-N 7520 in the formation of the photonic structures

Συγγραφείς: Fetisenkova, Ksenia, Melnikov, Alexander, Miakonkikh, Andrey, Rogozhin, Alexander, Tatarintsev, Andrey

Θεματικοί όροι: плазмохимическое травление, reactive-ion etching, electron-beam lithography, кинетика процессов травления, электронно-лучевая литография, волновод, etching kinetic, новолак, waveguide, novolak

Some peculiarities of a new method of microrelief creation by the direct electron-beam etching of resist ; Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста

Πηγή: Компьютерная оптика; Vol 39, No 2; 204-210 ; Computer Optics; Vol 39, No 2; 204-210 ; 2412-6179 ; 0134-2452

Θεματικοί όροι: electron-beam lithography, new dry method of microrelief creation, optoelectronics, diffractive optical elements, 3D-structures, электронно-лучевая литография, новый сухой метод формирования микрорельефа, оптоэлектроника, дифракционные оптические элементы, 3D-структуры

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/2454/2482; http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/2454

Διαθεσιμότητα: http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/2454

FABRICATION OF A FERROELECTRIC DOMAIN STRUCTURE IN A LITAO3 CRYSTAL USING E-BEAM LITHOGRAPHY REPOLARIZATION ; ФОРМИРОВАНИЕ СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ДОМЕННЫХ СТРУКТУР В КРИСТАЛЛАХ LiTaO3 МЕТОДОМ ПРЯМОЙ ЭЛЕКТРОННО–ЛУЧЕВОЙ ПЕРЕПОЛЯРИЗАЦИИ

Συγγραφείς: D. V. Roshchupkin, E. V. Emelin, O. A. Buzanov, Д. В. Рощупкин, Е. В. Емелин, О. А. Бузанов

Συνεισφορές: Исследования по формированию 180°−сегнетоэлектрических до- менных структур в кристаллах LiTaO3 проведены в рамках ГК 16.513.12.3002.

Πηγή: Izvestiya Vysshikh Uchebnykh Zavedenii. Materialy Elektronnoi Tekhniki = Materials of Electronics Engineering; № 2 (2013); 23-25 ; Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники; № 2 (2013); 23-25 ; 2413-6387 ; 1609-3577 ; 10.17073/1609-3577-2013-2

Θεματικοί όροι: электронно− лучевая литография, e−beam lithography

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://met.misis.ru/jour/article/view/73/66; Ito, H. Fabrication of periodic domain grating in LiNbO3 by electron beam writing for application of nonlinear optical processes / H. Ito, C. Takyu, H. Inaba // Electron. Lett. – 1991. – V. 27. – P. 1221—126.; Fujimura, M. Quasi-phase-matched self-frequency doubling waveguide laser in Nd : LiNbO3 / M. Fujimura, T. Kodama, T. Suhara, H. Nishihara // IEEE Photon. Tech. Lett. – 2000. – V. 12. – P. 1513—1515.; Sasaki, Y. Terahertz−wave surface−emitted difference frequency generation in slant-stripe-type periodically poled LiNbO3 crystal / Y. Sasaki, Yu. Avetisyan, K. Kawase, H. Ito // Appl. Phys. Lett. – 2002. – V. 81. – P. 3323—3325.; Roshchupkin, D. V. Scanning electron microscopy observation of excitation of the surface acoustic waves by the regular domain structures in the LiNbO3 crystals / D. V. Roshchupkin, T. Fournier, M. Brunel, O. A. Plotitsyna, N. G. Sorokin // Ibid. – 1993. – V. 60. – P. 23303—23304.; Roshchupkin, D. V. Reflection of surface acoustic waves on domain walls in a LiNbO3 crystal / D. V. Roshchupkin, M. Brunel, R. Tucoulou, E. Bigler, N. G. Sorokin // Ibid. – 1994. – V. 64. – P. 164—165.; Cheng, S. Growth and transducer properties of an acoustic superlattice with its periods varying gradually / S. Cheng, Y. Zhu, Y. Lu, N. Ming // Ibid. – 1995. – V. 66. – P. 291—292.; Wan, Z. Fabrication of acoustic superlattice LiNbO3 by pulsed current induction and its application for crossed field ultrasonic excitation/ Z. Wan, Q. Wang, Y. Xi, Y. Lu, Y. Zhu, N. Ming // Ibid. – 2000.; – V. 77. – P. 1891—1892.; Ishigame, Y. LiNbO3 waveguide second-harmonic-generation device phase matched with a fan-out domain-inverted grating/Y. Ishigame, T. Suhara, H. Nishihara // Opt. Lett. – 1991. – V. 16. – P. 375—377.; Yamamoto, K. Characteristics of periodically domain-inverted LiNbO3 and LiTaO3 waveguides for second harmonic generation / K. Yamamoto, K. Mizuuchi, T. Takeshige, Y. Sasai, T. Taniuchi // J. Appl. Phys. – 1991. – V. 70. – P. 1947—1951.; Bermudez, V. Bulk periodic poled lithium niobate crystals doped with Er and Yb / V. Bermudez, M. D. Serrano, E. Dieguez // J. Cryst. Growth. – 1999. – V. 200. – P. 185—190.; Gupta, M. C. Second−harmonic generation in bulk and waveguided LiTaO3 with domain inversion induced by electron beam scanning / M. C. Gupta, W. Kozlovsky, A. C. G. Nutt // Appl. Phys. Lett. – 1994. – V. 64. – P. 3210—3212.; Rosenman, G. Submicron ferroelectric domain structures tailored by high−voltage scanning probe microscopy / G. Rosenman, P. Urenski, A. Agronin, Y. Rosenwaks, M. Molotskii // Ibid. – 2003. – V. 82. – P. 103—105.; Terabe, K. Microscale to nanoscale ferroelectric domain and surface engineering of a near-stoichiometric LiNbO3 crystal / K. Terabe, M. Nakamura, S. Takekawa, K. Kitamura, S. Higuchi, Y. Gotoh, Y. Cho // Ibid. – 2003. – V. 82. – P. 433—435.; Yamada, M. First-order quasi-phase matched LiNbO3 waveguide periodically poled by applying an external field for efficient blue second-harmonic generation / M. Yamada, N. Nada, M. Saitoh, K. Watanabe // Ibid. – 1993. – V. 62. – P. 435—436.; https://met.misis.ru/jour/article/view/73

Διαθεσιμότητα: https://met.misis.ru/jour/article/view/73
https://doi.org/10.17073/1609-3577-2013-2-23-25

НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ НОВОГО МЕТОДА ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА ПУТЁМ ПРЯМОГО ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОГО ТРАВЛЕНИЯ РЕЗИСТА

Συγγραφείς: Брук, Марк, Жихарев, Евгений, Стрельцов, Дмитрий, Кальнов, Владимир, Спирин, Александр, Рогожин, Александр

Θεματικοί όροι: ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, НОВЫЙ СУХОЙ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА, ОПТОЭЛЕКТРОНИКА, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, 3D-СТРУКТУРЫ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/nekotorye-osobennosti-novogo-metoda-formirovaniya-mikroreliefa-putyom-pryamogo-elektronno-luchevogo-travleniya-rezista
http://cyberleninka.ru/article_covers/15765387.png

Экспериментальное исследование дифракции линейно-поляризованного гауссова пучка на бинарных микроаксиконах с периодом близким к длине волны ; Experimental research of diffraction of an linearly-polarized gaussian beam by binary microaxicon with the period close to wavelen GTH

Πηγή: Компьютерная оптика; Vol 35, No 1 ; Computer Optics; Vol 35, No 1 ; 2412-6179 ; 0134-2452

Θεματικοί όροι: асимметричные бинарные дифракционные аксиконы, высокоапертурный оптический элемент, линейная поляризация, сверхразрешение, ближнепольная микроскопия, электронно-лучевая литография, asymmetric binary diffractive axicon, high-aperture optical element, linear polarization, diffraction limit overcoming, nearfield microscopy, e-beam lithography

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/1333/1329; http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/1333

Διαθεσιμότητα: http://www.computeroptics.smr.ru//article/view/1333

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ И КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Συγγραφείς: Гребнева, Юлия, Данилина, Тамара, Мошкина, Александра, Чистоедова, Инна

Θεματικοί όροι: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png

СОЗДАНИЕ НАНОРАЗМЕРНОГО МЕДНОГО ПОКРЫТИЯ В ВИДЕ ДИФРАКЦИОННОЙ ЛИНЗЫ НА ПОВЕРХНОСТИ КВАРЦА

Συγγραφείς: Нестеренко, Дмитрий, Полетаев, Сергей, Расщепкина, Наталья, Китаева, Виктория

Θεματικοί όροι: ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННАЯ БИНАРНАЯ ЛИНЗА, ЭЛЕКТРОЛИЗ, ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ, ГАЛЬВАНОПОКРЫТИЕ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-nanorazmernogo-mednogo-pokrytiya-v-vide-difraktsionnoy-linzy-na-poverhnosti-kvartsa
http://cyberleninka.ru/article_covers/14062674.png

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ДИФРАКЦИИ ЛИНЕЙНО-ПОЛЯРИЗОВАННОГО ГАУССОВА ПУЧКА НА БИНАРНЫХ МИКРОАКСИКОНАХ С ПЕРИОДОМ БЛИЗКИМ К ДЛИНЕ ВОЛНЫ

Συγγραφείς: Хонина, Светлана, Нестеренко, Дмитрий, Морозов, Андрей, Скиданов, Роман, Пустовой, Иван

Θεματικοί όροι: АСИММЕТРИЧНЫЕ БИНАРНЫЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ АКСИКОНЫ, ВЫСОКОАПЕРТУРНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ, ЛИНЕЙНАЯ ПОЛЯРИЗАЦИЯ, СВЕРХРАЗРЕШЕНИЕ, БЛИЖНЕПОЛЬНАЯ МИКРОСКОПИЯ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/eksperimentalnoe-issledovanie-difraktsii-lineyno-polyarizovannogo-gaussova-puchka-na-binarnyh-mikroaksikonah-s-periodom-blizkim-k
http://cyberleninka.ru/article_covers/15253034.png

СОЗДАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ В ПРОСВЕТЛЯЮЩИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЯХ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ВНЕШНЕЙ КВАНТОВОЙ ЭФФЕКТИВНОСТИ СИНИХ СВЕТОДИОДОВ НА ОСНОВЕ GAN

Συγγραφείς: Данилина, Тамара, Троян, Павел, Чистоедова, Инна

Θεματικοί όροι: ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, НАНООСТРИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-mikroreliefnyh-poverhnostey-v-prosvetlyayuschih-opticheskih-pokrytiyah-dlya-povysheniya-vneshney-kvantovoy-effektivnosti
http://cyberleninka.ru/article_covers/13932143.png

АМОРФНЫЙ ОКСИД ВАНАДИЯ - РЕЗИСТ ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФИИ

Συγγραφείς: Стефанович, Г., Пергамент, А., Величко, А., Кулдин, Н., Борисков, П., Путролайнен, В.

Θεματικοί όροι: РЕЗИСТ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/amorfnyy-oksid-vanadiya-rezist-dlya-nanolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/13985555.png

Некоторые особенности нового метода формирования микрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста

Πηγή: Компьютерная оптика.

Θεματικοί όροι: ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, НОВЫЙ СУХОЙ МЕТОД ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОРЕЛЬЕФА, ОПТОЭЛЕКТРОНИКА, ДИФРАКЦИОННЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ, 3D-СТРУКТУРЫ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/nekotorye-osobennosti-novogo-metoda-formirovaniya-mikroreliefa-putyom-pryamogo-elektronno-luchevogo-travleniya-rezista
http://cyberleninka.ru/article_covers/15765387.png

Формирование микрорельефа методами электронно-лучевой литографии и контактной фотолитографии

Πηγή: Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники.

Θεματικοί όροι: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png

Создание наноразмерного медного покрытия в виде дифракционной линзы на поверхности кварца

Πηγή: Известия Самарского научного центра Российской академии наук.

Θεματικοί όροι: ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ДИФРАКЦИОННАЯ БИНАРНАЯ ЛИНЗА, ЭЛЕКТРОЛИЗ, ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ, ГАЛЬВАНОПОКРЫТИЕ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article_covers/14062674.png
http://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-nanorazmernogo-mednogo-pokrytiya-v-vide-difraktsionnoy-linzy-na-poverhnosti-kvartsa

Создание криволинейных дифракционных решеток для ультрафиолетового диапазона

Πηγή: Известия Самарского научного центра Российской академии наук.

Θεματικοί όροι: ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ИОННО-РЕАКТИВНОЕ ТРАВЛЕНИЕ, КРИВОЛИНЕЙНАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА, КВАРЦ, УФ ДИАПАЗОН

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-krivolineynyh-difraktsionnyh-reshetok-dlya-ultrafioletovogo-diapazona
http://cyberleninka.ru/article_covers/14078713.png

Экспериментальное исследование дифракции линейно-поляризованного Гауссова пучка на бинарных микроаксиконах с периодом близким к длине волны

Πηγή: Компьютерная оптика.

Θεματικοί όροι: АСИММЕТРИЧНЫЕ БИНАРНЫЕ ДИФРАКЦИОННЫЕ АКСИКОНЫ, ВЫСОКОАПЕРТУРНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ, ЛИНЕЙНАЯ ПОЛЯРИЗАЦИЯ, СВЕРХРАЗРЕШЕНИЕ, БЛИЖНЕПОЛЬНАЯ МИКРОСКОПИЯ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/eksperimentalnoe-issledovanie-difraktsii-lineyno-polyarizovannogo-gaussova-puchka-na-binarnyh-mikroaksikonah-s-periodom-blizkim-k
http://cyberleninka.ru/article_covers/15253034.png

Создание микрорельефных поверхностей в просветляющих оптических покрытиях для повышения внешней квантовой эффективности синих светодиодов на основе GaN

Πηγή: Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники.

Θεματικοί όροι: ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, НАНООСТРИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article_covers/13932143.png
http://cyberleninka.ru/article/n/sozdanie-mikroreliefnyh-poverhnostey-v-prosvetlyayuschih-opticheskih-pokrytiyah-dlya-povysheniya-vneshney-kvantovoy-effektivnosti

Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии

Πηγή: Вестник Воронежского государственного технического университета.

Θεματικοί όροι: РЕЗИСТ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/amorfnyy-oksid-vanadiya-rezist-dlya-nanolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/13985555.png

Моделирование взаимодействия электронного пучка с веществом методом Монте-Карло

Συγγραφείς: Подлипнов, В.В., Шабека, А.С., Куприянов, А.В.

Θεματικοί όροι: компьютерная оптика, моделирование методом Монте-Карло, электронно-лучевая литография

Relation: Dspace\SGAU\20161208\60636

Διαθεσιμότητα: http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modelirovanie-vzaimodeistviya-elektronnogo-puchka-s-veshestvom-metodom-MonteKarlo-60636

Ричард Фейнман и нанотехнология

Θεματικοί όροι: атомы, углеродные наноструктурные материалы, супрамолекулярная архитектура, углеродные нанотрубки, физика, атомно-силовая микроскопия, электронно-лучевая литография, твердотельная архитектура

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/49447

Моделирование процесса формирования синусоидальных голографических решеток методом термостимулированной электронно-лучевой литографии

Συγγραφείς: Сидоров Ф. А., Рогожин А. Е., Сидоров Ф. А., Рогожин А. Е.

Πηγή: Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023). - Т. 1 : Компьютерная оптика и нанофотоника

Θέμα γεωγραφικό: синусоидальные голографические решетки, термическая деполимеризация, термостимулированная электронно-лучевая литография

Relation: Информационные технологии и нанотехнологии (ИТНТ-2023) : сб. тр. по материалам IX Междунар. конф. и молодеж. шк. (г. Самара, 17-23 апр. 2023 г.): в 6; RU\НТБ СГАУ\541492

Διαθεσιμότητα: http://repo.ssau.ru/handle/Informacionnye-tehnologii-i-nanotehnologii/Modelirovanie-processa-formirovaniya-sinusoidalnyh-golograficheskih-reshetok-metodom-termostimulirovannoi-elektronnoluchevoi-litografii-105617