Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров

Authors: Корольков Виктор Павлович, Конченко Александр Сергеевич, Черкашин Вадим Владимирович, Миронников Николай Геннадиевич

Subject Terms: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/razrabotka-metodov-formirovaniya-i-kontrolya-zadannogo-raspredeleniya-tolschiny-fotorezista-pri-izgotovlenii-konformalnyh
http://cyberleninka.ru/article_covers/16880580.png