-
1Academic Journal
Contributors: Голосов, Д. А.
Subject Terms: Оксид гафния-циркония, Реактивное магнетронное распыление, Тонкие пленки, Диэлектрические характеристики
File Description: application/pdf
Access URL: https://elib.gstu.by/handle/220612/41823
-
2Academic Journal
Authors: Doan, H.T., Golosov, D.A., Голосов, Д.A., Djang, D., Melinikov, S.N., Zavadskii, S.M., Завадский, С.M.
Source: Электронная обработка материалов 59 (1) 60-69
Subject Terms: элементный состав, reactive magnetron sputtering, оптическая эмиссионная спектроскопия, реактивное магнетронное распыление, titanium-aluminum oxide, discharge voltage, optical emission spectroscopy, thin films, тонкие пленки, Elemental composition, composite target, оксид титана и алюминия, скорость распыления, sputtering rate, напряжение разряда, составная мишень
File Description: application/pdf
Access URL: https://ibn.idsi.md/vizualizare_articol/175591
-
3Academic Journal
Authors: Александрович, П. А.
Contributors: Голосов, Д. А.
Subject Terms: Тонкие пленки, Реактивное магнетронное распыление, Оксид гафния-циркония, Диэлектрические характеристики
Subject Geographic: Гомель
File Description: application/pdf
Relation: https://elib.gstu.by/handle/220612/41823
Availability: https://elib.gstu.by/handle/220612/41823
-
4Conference
Subject Terms: плотность, мощность, магнетронные диоды, скорость, осаждение, фазовый состав, покрытия, реактивное магнетронное распыление, магнетронные распылительные системы, нитрид хрома
File Description: application/pdf
Relation: info:eu-repo/grantAgreement/RFBR//20-38-90134; Современные проблемы машиностроения : сборник трудов XIV Международной научно-технической конференции, г. Томск, 25-30 октября 2021 г.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
-
5Conference
Subject Terms: осаждение, нитрид хрома, магнетронные распылительные системы, плотность, скорость, мощность, магнетронные диоды, реактивное магнетронное распыление, покрытия, фазовый состав
File Description: application/pdf
Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/69152
-
6Report
Authors: Гавриленко, Александр Вячеславович
Contributors: Конищев, Максим Евгеньевич
Subject Terms: реактивное магнетронное распыление, гистерезис, температура плазмы, температура атмосферы вакуумной камеры, метод оценки температуры, reactive magnetron sputtering, hysteresis, plasma temperature, the temperature of the atmosphere of the vacuum chamber, method for estimating temperature, 14.03.02, 621.793.7:621.385.64
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76399
-
7Report
Authors: Осипова, Елизавета Сергеевна
Contributors: Сиделёв, Дмитрий Владимирович
Subject Terms: реактивное магнетронное распыление, высокочастотная плазма, горячая мишень, радиочастотный плазменный генератор, твёрдость, reactive magnetron sputtering, high-frequency plasma, hot target, radio frequency inductively-coupled plasma, hardness, 14.03.02, 621.793.182.02:669.26.058
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75070
-
8Academic Journal
Authors: A. P. Burmakou, V. N. Kuleshov, A. V. Stoliarov
Source: Приборы и методы измерений, Vol 9, Iss 2, Pp 114-120 (2018)
Subject Terms: System, reactive magnetron sputtering, Управление, 02 engineering and technology, Engineering (General). Civil engineering (General), 7. Clean energy, 01 natural sciences, Reactive magnetron sputtering, 0104 chemical sciences, Реактивное магнетронное распыление, Control, Система, TA1-2040, 0210 nano-technology, system, control
Access URL: https://pimi.bntu.by/jour/article/download/373/327
https://doaj.org/article/fc56d27bfb2f45f0a018a6384cc21e6c
https://pimi.bntu.by/jour/article/download/373/327
https://pimi.bntu.by/jour/article/view/373
https://cyberleninka.ru/article/n/sistema-stabilizatsii-protsessa-reaktivnogo-magnetronnogo-raspyleniya
https://rep.bntu.by/handle/data/42004 -
9Academic Journal
Subject Terms: Оксид ванадия, Vanadium oxide, Реактивное магнетронное распыление, Thin films, Тонкие пленки, Фазовый состав, Structure, Структура, Crystallization annealing, Phase composition, Кристаллизационный отжиг, Reactive magnetron sputtering
File Description: application/pdf
Access URL: https://elib.gstu.by/handle/220612/24192
-
10Academic Journal
Authors: Захаров, Александр Николаевич, Павлов, Артем Павлович, Работкин, Сергей Викторович, Семенов, Вячеслав Аркадьевич, Оскирко, Владимир Олегович
Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 7. С. 89-96
Subject Terms: дуальная магнетронная распылительная система, реактивное магнетронное распыление, пакетно-импульсное магнетронное распыление высокой мощности, сильноточное импульсное магнетронное распыление
File Description: application/pdf
Relation: vtls:000674387; https://openrepository.ru/article?id=331394
-
11
-
12Dissertation/ Thesis
Contributors: Твердохлебов, Сергей Иванович
Subject Terms: регенеративная медицина, биосовместимость, физико-химические свойства, скаффолды, 05.11.17, нетканые полимерные материалы, реактивное магнетронное распыление, медико-биологические свойства, Восстановление (регенерация) ткани, адгезия, бактерицидные свойства, подкожная имплантация, пролиферации, тонкие пленки, биорезорбируемые материалы, мягкие ткани, полимолочная кислота, азот, покрытия, биодеградируемые скаффолды, клеточная адгезия, Медицинское оборудование, оксинитрид титана, оксиды, гидрофилизация, биоинтеграция, модифицированные ПМК-скаффолды, атмосфера, медицинские исследования, диссертации, дифференцируемость, регенерация, 01.04.07
File Description: application/pdf
Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76945
-
13Dissertation/ Thesis
Contributors: Твердохлебов, Сергей Иванович
Subject Terms: регенеративная медицина, биосовместимость, физико-химические свойства, скаффолды, 05.11.17, нетканые полимерные материалы, реактивное магнетронное распыление, медико-биологические свойства, Восстановление (регенерация) ткани, адгезия, бактерицидные свойства, подкожная имплантация, пролиферации, тонкие пленки, биорезорбируемые материалы, авторефераты диссертаций, мягкие ткани, полимолочная кислота, азот, покрытия, биодеградируемые скаффолды, клеточная адгезия, Медицинское оборудование, оксинитрид титана, оксиды, гидрофилизация, биоинтеграция, модифицированные ПМК-скаффолды, атмосфера, медицинские исследования, дифференцируемость, регенерация, 01.04.07
File Description: application/pdf
Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76940
-
14Conference
Subject Terms: титан, покрытия, растворимость, реактивное магнетронное распыление, стенты
Relation: IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine. — Bristol, 2016.; Leonova L. A. The study of titanium oxynitride coatings solubility deposited by reactive magnetron sputtering / L. A. Leonova, E. L. Boytsova, A. A. Pustovalova // IOP Conference Series: Materials Science and Engineering. — 2016. — Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine : VIII International Scientific Conference, 1–3 June 2016, Tomsk, Russia : [proceedings]. — [012026, 5 p.].; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/34815
-
15Conference
Subject Terms: поверхности, растворимость, покрытия, оксинитриды титана, реактивное магнетронное распыление
Relation: Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VIII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 1-3 июня 2016 г. — Томск, 2016.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/31245
-
16Academic Journal
Authors: Доан, Х.Т., Голосов, Д.А., Джанг, Дж., Кананович, Н.А., Завадский, С.М., Мельников, С.Н., Doan, H.T., Golosov, D.A., Zhang, J., Kananovich, N.A., Zavadski, S.M., Melnikov, S.N.
Subject Terms: реактивное магнетронное распыление, составная мишень, тонкие пленки, оксид титана-алюминия, элементарный состав, диэлектрическая проницаемость, тангенс угла диэлектрических потерь, ток утечки, ширина запрещенной зоны, reactive magnetron sputtering, composite target, thin films, titanium-aluminum oxide, elemental composition, dielectric permittivity, dielectric loss tangent, leakage current, band gap
File Description: application/pdf
Relation: http://elib.gsu.by/jspui/handle/123456789/61638; 621.3.049.77:621.793; https://doi.org/10.54341/20778708_2023_2_55_74
-
17Conference
Contributors: Дьяченко, Александр Николаевич
Subject Terms: биосовместимые покрытия, оксинитридные покрытия, титан, реактивное магнетронное распыление, осаждение
Relation: Химия и химическая технология в XXI веке : материалы XVI Международной научно-практической конференции студентов и молодых ученых, посвященной 115-летию со дня рождения профессора Л.П. Кулёва, Томск, 25-29 мая 2015 г. Т. 1. — Томск, 2015.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19635
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19635
-
18Report
Authors: Мельников, Антон Леонидович
Contributors: Мышкин, Вячеслав Федорович
Subject Terms: магнетронные распылительные системы, реактивное магнетронное распыление, металлические пленки оксида меди, SEM-изображения, Морфологическая структура пленок оксида меди, Magnetron sputtering, Reactive magnetron sputtering, CuO films, SEM-images, Morphological structure CuO films, 14.04.02, 539.216.2:621.793.74:621.385.64
File Description: application/pdf
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/48183
-
19Dissertation/ Thesis
Authors: Марьин, Павел Владимирович
Contributors: Твердохлебов, Сергей Иванович
Subject Terms: Медицинское оборудование, Восстановление (регенерация) ткани, авторефераты диссертаций, скаффолды, регенерация, мягкие ткани, биодеградируемые скаффолды, нетканые полимерные материалы, биосовместимость, регенеративная медицина, полимолочная кислота, тонкие пленки, оксинитрид титана, физико-химические свойства, клеточная адгезия, пролиферации, дифференцируемость, бактерицидные свойства, биорезорбируемые материалы, реактивное магнетронное распыление, атмосфера, азот, медико-биологические свойства, гидрофилизация, покрытия, оксиды, адгезия, медицинские исследования, подкожная имплантация, модифицированные ПМК-скаффолды
File Description: application/pdf
Relation: Марьин, П. В. Разработка биодеградируемых полимерных скаффолдов с модифицированной поверхностью для восстановления мягких тканей : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 : спец. 2.2.12 / П. В. Марьин; Национальный исследовательский Томский политехнический университет; науч. рук. С. И. Твердохлебов. — Томск, 2023.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76940
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76940
-
20Dissertation/ Thesis
Authors: Марьин, Павел Владимирович
Contributors: Твердохлебов, Сергей Иванович
Subject Terms: Медицинское оборудование, Восстановление (регенерация) ткани, диссертации, скаффолды, регенерация, мягкие ткани, биодеградируемые скаффолды, нетканые полимерные материалы, биосовместимость, регенеративная медицина, полимолочная кислота, тонкие пленки, оксинитрид титана, физико-химические свойства, клеточная адгезия, пролиферации, дифференцируемость, бактерицидные свойства, биорезорбируемые материалы, реактивное магнетронное распыление, атмосфера, азот, медико-биологические свойства, гидрофилизация, покрытия, оксиды, адгезия, медицинские исследования, подкожная имплантация, модифицированные ПМК-скаффолды
File Description: application/pdf
Relation: Марьин, П. В. Разработка биодеградируемых полимерных скаффолдов с модифицированной поверхностью для восстановления мягких тканей : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 1.3.8 : спец. 2.2.12 / П. В. Марьин; Национальный исследовательский Томский политехнический университет; науч. рук. С. И. Твердохлебов. — Томск, 2023.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76945
Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76945