-
1Academic Journal
Συγγραφείς: Афиногенов, Иван, Зельцер, Игорь, Трунин, Евгений
Θεματικοί όροι: МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ СИСТЕМА (МЭМС), КОММУТАТОР, ЭЛЕМЕНТНО-ХИМИЧЕСКИЙ СОСТАВ, МОРФОЛОГИЯ, КОНТАКТНОЕ ПОКРЫТИЕ, ЭЛЕКТРИЧЕСКОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ, РЕНТГЕНОВСКАЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ (РФЭС), АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ (АСМ), РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ (РЭМ), ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЗАГРЯЗНЕНИЯ, MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS (MEMS), X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY (XPS), ATOMIC-FORCE MICROSCOPY (AFM), SCANNING ELECTRON MICROSCOPY (SEM)
Περιγραφή αρχείου: text/html
-
2Academic Journal
Πηγή: Вестник Рязанского государственного университета им. С.А. Есенина.
Περιγραφή αρχείου: text/html