Аморфный оксид ванадия - резист для нанолитографии

Source: Вестник Воронежского государственного технического университета.

Subject Terms: РЕЗИСТ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/amorfnyy-oksid-vanadiya-rezist-dlya-nanolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/13985555.png