Моделирование процесса создания микрокомпонентов для вакуумной электроники и рентгеновской оптики с применением протонно-лучевой литографии

Συγγραφείς: Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych, Zhurba, Viacheslav Olehovych, Petrovskyi, Mykhailo Vasylovych

Θεματικοί όροι: Скануюча система, Proton beam writing, Micro-components, Микрокомпоненты, Мікрокомпоненти, Diffraction grating, Протонно-променева літографія, Протонно-лучевая литография, Сканирующая система, Дифракционная решетка, Scanning system, Дифракційна гратка

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65993

Моделирование процесса создания микрокомпонентов для вакуумной электроники и рентгеновской оптики с применением протонно-лучевой литографии ; Моделювання процесу створення мікрокомпонентів для вакуумної електроніки та рент- генівської оптики із застосуванням протонно-променевої літографії ; Simulation of the Process of a Micro-components Fabrication for Vacuum Electronics and X-ray Optics Using Proton Beam Writing

Συγγραφείς: Пономарьов, Олександр Георгійович, Пономарев, Александр Георгиевич, Ponomarov, Oleksandr Heorhiiovych, Лапин, О.С., Колинько, С.В., Ребров, В.А., Журба, В`ячеслав Олегович, Журба, Вячеслав Олегович, Zhurba, Viacheslav Olehovych, Петровський, Михайло Васильович, Петровский, Михаил Васильевич, Petrovskyi, Mykhailo Vasylovych, Коломиец, В.Н., Кравченко, С.Н.

Θεματικοί όροι: Микрокомпоненты, Мікрокомпоненти, Micro-components, Протонно-лучевая литография, Протонно-променева літографія, Proton beam writing, Сканирующая система, Скануюча система, Scanning system, Дифракционная решетка, Дифракційна гратка, Diffraction grating

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65993

Διαθεσιμότητα: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/65993