Thermodynamic analysis of hydrochlorination process of technical silicon

Source: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Том 6, № 6(54) (2011): Technologies of organic and inorganic substances; 56-59
Восточно-Европейский журнал передовых технологий; Том 6, № 6(54) (2011): Технологии органических и неорганических веществ; 56-59
Східно-Європейський журнал передових технологій; Том 6, № 6(54) (2011): Технології органічних і неорганічних речовин; 56-59

Subject Terms: Рolycrystalline silicon, chlorination, trichlorosilane, 0211 other engineering and technologies, 0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering, 02 engineering and technology, Поликристаллический кремний, хлорирование, трихлорсилан, Полікристалічний кремній, хлорування, трихлорсилан, УДК 621.315.592

File Description: application/pdf

Access URL: http://journals.uran.ua/eejet/article/view/2300