Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07

Authors: Чжан Ле

Subject Terms: Тонкопленочные покрытия, Плазменное напыление — Физико-химические процессы, тонкопленочные системы, вакуумные разряды, дуговые разряды, конструкционные материалы, циркониевые сплавы, водородное охрупчивание, нитриды, авторефераты диссертаций, 02.00.02

File Description: application/pdf

Relation: info:eu-repo/grantAgreement/RFBR//19-53-26001; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64162

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64162

Формирование и исследование тонкопленочной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07

Subject Terms: Плазменное напыление — Физико-химические процессы, нитриды, тонкопленочные системы, вакуумные разряды, дуговые разряды, 02.00.02, циркониевые сплавы, Тонкопленочные покрытия, диссертации, водородное охрупчивание

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64165

Формирование и исследование тонкоплёночной системы TiNx/Ti/Zr-1%Nb при модифицировании поверхности сплава Zr-1%Nb плазмой вакуумного дугового разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : спец. 01.04.07

Subject Terms: Плазменное напыление — Физико-химические процессы, нитриды, тонкопленочные системы, вакуумные разряды, дуговые разряды, авторефераты диссертаций, 02.00.02, циркониевые сплавы, конструкционные материалы, Тонкопленочные покрытия, водородное охрупчивание

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64162

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03

Authors: Нечаев, Михаил Анатольевич

Contributors: Бекишев, Рудольф Фридрихович

Subject Terms: Магнетроны, Плазменное напыление — Физико-химические процессы, авторефераты диссертаций, магнетронные вакуумные установки, сканирование, электроприводы, системы управления, имитационное моделирование, разработка, экспериментальные исследования, 05.09.03

File Description: application/pdf

Relation: Нечаев М. А. Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.09.03 / М. А. Нечаев; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ); науч. рук. Р. Ф. Бекишев. — Томск, 2010.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634

Разработка системы управления движением сканирования установки магнетронного вакуумного напыления: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.09.03

Contributors: Бекишев, Рудольф Фридрихович

Subject Terms: Плазменное напыление — Физико-химические процессы, электроприводы, Магнетроны, системы управления, авторефераты диссертаций, магнетронные вакуумные установки, 05.09.03, экспериментальные исследования, разработка, сканирование, имитационное моделирование

File Description: application/pdf

Access URL: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6634