ВПРОВАДЖЕННЯ ПЛАЗМОХіМіЧНОГО ТРАВЛЕННЯ В СУБМіКРОННУ ТЕХНОЛОГіЮ СТРУКТУР іНТЕГРАЛЬНИХ СХЕМ

Συγγραφείς: НОВОСЯДЛИЙ С.П., МЕЛЬНИК Л.В., НОВОСЯДЛИЙ С.В.

Θεματικοί όροι: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВ- ЛЕНИЕ, ОСАЖДЕНИЕ, БОРО-ФОСФОРО СИЛИКАТНОЕ СТЕКЛО, ФОТОРЕЗИСТ, РЕАКТОР

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/vprovadzhennya-plazmohimichnogo-travlennya-v-submikronnu-tehnologiyu-struktur-integralnih-shem
http://cyberleninka.ru/article_covers/15966648.png