Method for low-tonnage hydrogen production using a plasma-chemical reactor ; Способ малотоннажного получения водорода с использованием плазмохимического реактора

Συγγραφείς: A. G. Kuznetsov, N. A. Sharapov, V. A. Voronov, D. S. Denshikov, А. Г. Кузнецов, Н. А. Шарапов, В. А. Воронов, Д. С. Деньщиков

Πηγή: Alternative Energy and Ecology (ISJAEE); № 3 (2025); 103-112 ; Альтернативная энергетика и экология (ISJAEE); № 3 (2025); 103-112 ; 1608-8298

Θεματικοί όροι: плазменный синтез, hydrogen, pulsed high-frequency discharge, plasma-chemical reactor, methane pyrolysis, plasma synthesis, водород, импульсный высокочастотный разряд, плазмохимический реактор, пиролиз метана

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://www.isjaee.com/jour/article/view/2617/2133; Бабарицкий Л. И., Деминский М. А., Демкин С. А., Животов В. К. Эффект плазменного катализа при разложении метана // Химия высоких энергий. – 1999. – Т. 33. – № 1. – С. 49-56.; A. M. Ghorbanzadeh and N. S. Matin. Methane Conversion to Hydrogen and Higher Hydrocarbons by Double Pulsed Glow Discharge // Plasma Chemistry and Plasma Processing. – 2005.; S. L. Yao, E. Suzuki, N. Meng and A. Nakayama. A high-efficiency reactor for the Pulsed Plasma Conversion of Methane. – Japan, 2000.; R. K. Janev, D. Reiter // Phys. Plasmas. – 9(9): (2002);4071-4081.; Шарапов Н. А., Чуканов В. И., Дистанов Р. Р., Козлов Н. П., Пекшев А. В., Хоменко В. А., Вагапов А. Б., Дусалиева Р. Р. Исследование воздушного плазмохимического реактора для нового медицинского аппарата // Инженерный журнал: наука и инновации. – 2013. – Вып. 10. URL: http://engjournal.ru/catalog/machin/plasma/1028.html (дата обращения 02. 09. 2024).; L. Bromberg, D. R. Cohn, A. Rabinovich, J. E. Surma, J. Verden. Compact plasmatron-boosted hydrogen generation technology for vehicular apphcation // International Journal of Hydrogen Energy. – 24 (1999):341-350.; K. Iskenderova, P. Porshev, A. Gutsol, A. Saveliev, A. Fridman, L. Kennedy, T. Rufael. «Methane conversion into syn-gas in gliding arc discharge». Proc. of 15sup>th International Symposium on Plasma Chemistry. – 2001, Orleans, p. 2849.; В. Д. Русанов, К. Этьеван, А. И. Бабарицкий и др. Эффект плазменного катализа на примере диссоциации метана на водород и углерод // ДАН. – 1997, т. 354, № 2, с. 213-215.; С. В. Потехин, Б. В. Потанкин, М. А. Деминский и др. Эффект плазменного катализа при разложении метана // ХВЭ. – 1997, т. 33, № 1, с. 59-66.; A. Lemoine, J. Jurewicz. Fuel synthesis for fuel oxide fuel cells by plasma spouted bed gasification. 15sup>th International Symposium on Plasma Chemistry. – Vol. 7, p. 2873; Л. C. Полак, А. А. Овсянников, Д. И. Словенецкий, Ф. Б. Вурзель. Теоретическая и прикладная плазмохимия. – М.: Наука, 1975.; Кобзев Ю. Н. Пути повышения эффективности использования газообразного топлива в энергетике и промышленности. Диссертация на соискание ученой степени доктора наук. – М. 1989.; В. Д. Русанов, А. А. Фридман. Физика химически активной плазмы. – М.: Наука, 1984.; Е. Баранов. Исследование неравновесных плазмохимических систем конверсии метана в сложные углеводороды. Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. – М.: 2003.; Н. Gladish Hydroc. Proc. Pet. Ref. – 1952. – Vol. 41, № 6 (159).; Chem. Week. – 1964. – Vol. 94, № 3, p. 65.; D. A. Maniero, P. F. Kienast. Westinghouse Eng. – 1966. – Vol. 26, № 3, р. 66.; Жоров Ю. М. Кинетика промышленных органических реакций. – М: Химия, 1989.; Демкин С. А., Нестер С. А. Эффект повышения энергетической эффективности процесса конверсии метана в ацетилен в СВЧ разряде умеренного давления. – М: Препринт ИАЭ-5253/13, 1990.; Малышев В. И. Введение в экспериментальную спектроскопию. – М.: Наука. – 1979, 474 с.; Демкин С. А. Экспериментальное исследование конверсии углеводородов в неравновесном СВЧ-разряде. – М: Автореферат диссертации к. ф.-м. н., 1998.; Plasma Reformer Fuel Cell System for Decentralized Power Applications by L. Bromberg et. al. // International Journal of Hydrogen Energy. – 1997. – Vol. 22, No. 1, pp. 83-94.; A. Czernichowski, T. Czech, J. Miczeraczyk. Proc. of the First Int. Conf. on Adv. Oxidation Tech., London, Ontario, 1995, 246.; Czernichowski A. «Glidarc I Assisted Partial Oxidation of Gaseous Hydrocarbons». Proc. of 14sup>th International Symposium on Plasma Chemistry, 2-6 August 1999, Prague.; В. Д. Русанов, А. И. Бабарицкий, Е. Н. Герасимов, В. К. Животов, Б. В. Потапкин, Р. В. Смирнов. Энергия электронов в импульсном псевдокоронном микроволновом разряде в процессе плазменного катализа // ДАН. – 1999, т. 366, № 3, с. 323.; А. И. Бабарицкий, Е. Н. Герасимов, С. А. Демкин, В. К. Животов, А. А. Книжник, Б. В. Потапкин, В. Д. Русанов, Е. И. Рязанцев, Р. В. Смирнов, Г. В. Шолин. Импульсно-периодический СВЧ-разряд как катализатор химической реакции // ЖТФ. – 2000, т. 70, № 11, с. 36-41.; А. И. Бабарицкий, И. Е. Баранов, С. А. Дёмкин, В. К. Животов, Б. В. Потапкин, В. Д. Русанов, Е. И. Рязанцев, К. Этьеван. Плазменный катализ процессов конверсии углеводородов // ХВЭ. – 1999, т. 33, № 6, с. 458-463.; В. Potapkin, A. Babaritski, М. Deminski, V. Zhivotov, R. Smirnov, V. Rusanov. Plasma catalysis of hydrocarbon reactions in pulse microwave discharge. AIAA 99-3570 (American Institute of Aeronautics and Astronauts).; M. Deminski, V. Zhivotov, B. Potapkin, V. Rusanov. Plasma Assisted production of hydrogen from hydrocarbons. Proc. of 15sup>th International Symposium on Plasma Chemistry, Orleans, 2001, Prague.; H. Tanaka, K. Sata. Combastion and Flame. – 1999, vol. 118, № 3, pр. 317-508.; https://www.isjaee.com/jour/article/view/2617

Διαθεσιμότητα: https://www.isjaee.com/jour/article/view/2617
https://doi.org/10.15518/isjaee.2025.03.103-112

Destruction of Surfactants and Humic Substances in Plazma-Chemical Reactor

Συγγραφείς: Goncharuk, Vladislav V., Klishchenko, Roman Ye., Kornienko, Ivan V.

Πηγή: Наукові вісті Національного технічного університету України "Київський політехнічний інститут", Vol 0, Iss 4, Pp 85-90 (2018)
Наукові вісті КПІ; № 4 (2018); 85-90
Научные вести КПИ; № 4 (2018); 85-90
Research Bulletin of the National Technical University of Ukraine "Kyiv Politechnic Institute"; № 4 (2018); 85-90

Θεματικοί όροι: Плазмохимический реактор, Очистка, Поверхностно-активный вещества, Гумат натрия, Деструкция, Температура, Plasma chemical reactor, хімічні, технічні, екологічні, Surfactants, Destruction, Chemical technology, Science, Purification, Humic substances, Temperature, TP1-1185, 6. Clean water, 12. Responsible consumption, Плазмохімічний реактор, Очищення, Поверхнево-активні речовини, Гумат натрію, Деструкція, 13. Climate action

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://bulletin.kpi.ua/article/download/141259/pdf_318
https://doaj.org/article/179f39214592430ca367240fb2d00b58
http://bulletin.kpi.ua/article/view/141259

UTILIZATION OF INDUSTRIAL WASTE USING THERMAL PLASMA ENERGY

Πηγή: Химическая безопасность / Chemical Safety Science. 2:162-169

Θεματικοί όροι: минеральные волокна, плазмохимический реактор, силикатный расплав, 7. Clean energy, утилизация, золошлаковые отходы, низкотемпературная плазма

Модернизация системы управления электродугового реактора постоянного тока совмещенного типа с вертикальными электродами

Συγγραφείς: Герасимов, Роман Дмитриевич

Συνεισφορές: Пак, Александр Яковлевич

Θεματικοί όροι: управление, модернизация, наноматериалы, плазмохимический реактор, системы позиционирования, plasma arc, arduino, synthesis, raspberry pi, recycling, 15.04.04, 004.896:621.387.145-048.35

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: Герасимов Р. Д. Модернизация системы управления электродугового реактора постоянного тока совмещенного типа с вертикальными электродами : магистерская диссертация / Р. Д. Герасимов; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа информационных технологий и робототехники (ИШИТР), Отделение автоматизации и робототехники (ОАР); науч. рук. А. Я. Пак. — Томск, 2021.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/66521

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/66521

Деструкція барвника активний червоний 5СХ у проточному плазмохімічному реакторі

Συγγραφείς: Goncharuk, Vladislav V., Klishchenko, Roman Ye., Kornienko, Ivan V.

Συνεισφορές: ELAKPI

Πηγή: Наукові вісті КПІ; № 3 (2018); 93-98
Научные вести КПИ; № 3 (2018); 93-98
Research Bulletin of the National Technical University of Ukraine "Kyiv Politechnic Institute"; № 3 (2018); 93-98

Θεματικοί όροι: плазмохімічний реактор, purification, очистка, краситель активный красный 5CX, temperature, Plasma chemical reactor, Purification, Azo dye Procion red MX-5B, Destruction, Temperature, destruction, деструкция, хімія, плазмохімія, екологічна безпека, azo dye Procion red MX-5B, 6. Clean water, деструкція, 12. Responsible consumption, температура, plasma chemical reactor, 13. Climate action, барвник активний червоний 5CX, Плазмохимический реактор, Очистка, Краситель активный красный 5CX, Деструкция, Температура, Плазмохімічний реактор, Очищення, Барвник активний червоний 5CX, Деструкція, плазмохимический реактор, очищення

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24593
http://bulletin.kpi.ua/article/view/130202

Расчет температурного поля внутри плазмохимического реактора для разделения изотопов углерода

Συγγραφείς: Беспала, Е. В., Титов, Е. С.

Συνεισφορές: Мышкин, Вячеслав Фёдорович

Θεματικοί όροι: температурные поля, плазмохимический реактор, изотопы, углерод, плавление

Relation: Изотопы: технологии, материалы и применение : материалы II Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г.Томск, 19-23 октября 2015 г. — Томск, 2015.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/22448

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/22448

Деструкція поверхнево-активних і гумінових речовин у плазмохімічному реакторі

Συγγραφείς: Goncharuk, V. V., Klishchenko, R. E., Kornienko, I. V.

Συνεισφορές: ELAKPI

Θεματικοί όροι: плазмохімічний реактор, поверхнево-активні речовини, purification, очистка, humic substances, temperature, destruction, деструкция, деструкція, surfactants, температура, гумат натрия, plasma chemical reactor, гумат натрію, плазмохимический реактор, поверхностно-активный вещества, очищення

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Σύνδεσμος πρόσβασης: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24902

Расчет температурного поля внутри плазмохимического реактора для разделения изотопов углерода

Συνεισφορές: Мышкин, Вячеслав Фёдорович

Θεματικοί όροι: углерод, плазмохимический реактор, плавление, температурные поля, изотопы

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/22448

ЭНЕРГОЭФФЕКТИВНОСТЬ ПЕРЕРАБОТКИ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ В ВОДОРОД И ДРУГУЮ ЛИКВИДНУЮ ПРОДУКЦИЮ

Συγγραφείς: Латышенко, К., Гарелина, С.

Θεματικοί όροι: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР, ПРОИЗВОДСТВО ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ПЕРЕРАБОТКА ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, ЭФФЕКТИВНОСТЬ ПРОИЗВОДСТВА ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/energoeffektivnost-pererabotki-polimernyh-othodov-v-vodorod-i-druguyu-likvidnuyu-produktsiyu
http://cyberleninka.ru/article_covers/15657167.png

ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР ПО ПЕРЕРАБОТКЕ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ В ВОДОРОД И ДРУГУЮ ЛИКВИДНУЮ ПРОДУКЦИЮ

Συγγραφείς: Латышенко, К., Гарелина, С.

Θεματικοί όροι: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР, ПРОИЗВОДСТВО ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ПЕРЕРАБОТКА ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ РАЗРЯД

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/plazmohimicheskiy-reaktor-po-pererabotke-polimernyh-othodov-v-vodorod-i-druguyu-likvidnuyu-produktsiyu
http://cyberleninka.ru/article_covers/15656762.png

О некоторых особенностях сепарационных устройств с вращающейся плазмой в скрещенных электрическом и магнитном полях ; About some features of separation devices with ratating plasma in crossed electric and magnetic fields

Συγγραφείς: Юферов, Владимир Борисович, Егоров, Алексей Михайлович, Шарый, Сергей Владимирович, Друй, Олег Самойлович, Ильичева, Вера Олеговна, Швец, Михаил Олегович, Свичкарь, Александр Сергеевич, Ткачева, Татьяна Ивановна

Θεματικοί όροι: термоядерный реактор, плазмохимический реактор, отработанное ядерное топливо, rotating plasma, plasma centrifuge, ion-cyclotron instability

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: О некоторых особенностях сепарационных устройств с вращающейся плазмой в скрещенных электрическом и магнитном полях / В. Б. Юферов [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы усовершенствования электрических машин и аппаратов. Теория и практика. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2011. – № 60. – С. 103-116.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/17498

Διαθεσιμότητα: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/17498

МОДЕЛИРОВАНИЕ ОБРАЗОВАНИЯ НАНОЧАСТИЦ ДИОКСИДА ТИТАНА В ПРОТОЧНОМ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОМ РЕАКТОРЕ

Συγγραφείς: АУЛЬЧЕНКО С.М., КАРТАЕВ Е.В., КОВАЛЕВ О.Б.

Θεματικοί όροι: НАНОЧАСТИЦЫ ДИОКСИДА ТИТАНА,ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР,ОДНОСКОРОСТНАЯ МНОГОКОМПОНЕНТНАЯ СРЕДА,ГОМОГЕННАЯ И ГЕТЕРОГЕННАЯ РЕАКЦИИ,КОАГУЛЯЦИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/modelirovanie-obrazovaniya-nanochastits-dioksida-titana-v-protochnom-plazmohimicheskom-reaktore
http://cyberleninka.ru/article_covers/16561007.png

Импульсный плазмохимический синтез наноразмерных композиционных порошков SixCyOz и SixFyOz

Συγγραφείς: Мухамеджанов, Адилет Туратбекович

Συνεισφορές: Пономарев, Денис Владимирович

Θεματικοί όροι: импульсный плазмохимический синтез, импульсный электронный ускоритель ТЭУ-500, наноразмерный композиционный порошок, плазмохимический реактор, электронный пучок, Pulsed plasma-chemical synthesis, ТЭУ-500 pulsed electronic accelerator, nano sized composite powder, plasma-chemical reactor, electron beam, 13.04.02, УДК 533.9.03, 54.052, 54.057

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: Мухамеджанов А. Т. Импульсный плазмохимический синтез наноразмерных композиционных порошков SixCyOz и SixFyOz : дипломный проект / А. Т. Мухамеджанов; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Институт физики высоких технологий (ИФВТ), Кафедра высоковольтной электрофизики и сильноточной электроники (ВЭСЭ); науч. рук. Д. В. Пономарев. — Томск, 2015.; http://earchive.tpu.ru/handle/11683/24278

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/24278

Энергоэффективность переработки полимерных отходов в водород и другую ликвидную продукцию

Πηγή: Известия Московского государственного технического университета МАМИ.

Θεματικοί όροι: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР, ПРОИЗВОДСТВО ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ПЕРЕРАБОТКА ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, ЭФФЕКТИВНОСТЬ ПРОИЗВОДСТВА ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, 7. Clean energy

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article/n/energoeffektivnost-pererabotki-polimernyh-othodov-v-vodorod-i-druguyu-likvidnuyu-produktsiyu
http://cyberleninka.ru/article_covers/15657167.png

Плазмохимический реактор по переработке полимерных отходов в водород и другую ликвидную продукцию

Πηγή: Известия Московского государственного технического университета МАМИ.

Θεματικοί όροι: ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР, ПРОИЗВОДСТВО ВОДОРОДА ИЗ ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ПЕРЕРАБОТКА ПОЛИМЕРНЫХ ОТХОДОВ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИЙ РАЗРЯД, 13. Climate action, 7. Clean energy, 12. Responsible consumption

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article_covers/15656762.png
http://cyberleninka.ru/article/n/plazmohimicheskiy-reaktor-po-pererabotke-polimernyh-othodov-v-vodorod-i-druguyu-likvidnuyu-produktsiyu

О некоторых особенностях сепарационных устройств с вращающейся плазмой в скрещенных электрическом и магнитном полях

Θεματικοί όροι: термоядерный реактор, rotating plasma, plasma centrifuge, плазмохимический реактор, ion-cyclotron instability, отработанное ядерное топливо

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/17498

Моделирование образования наночастиц диоксида титана в проточном плазмохимическом реакторе

Πηγή: Наносистемы: физика, химия, математика.

Θεματικοί όροι: НАНОЧАСТИЦЫ ДИОКСИДА ТИТАНА,ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР,ОДНОСКОРОСТНАЯ МНОГОКОМПОНЕНТНАЯ СРЕДА,ГОМОГЕННАЯ И ГЕТЕРОГЕННАЯ РЕАКЦИИ,КОАГУЛЯЦИЯ

Περιγραφή αρχείου: text/html

Σύνδεσμος πρόσβασης: http://cyberleninka.ru/article_covers/16561007.png
http://cyberleninka.ru/article/n/modelirovanie-obrazovaniya-nanochastits-dioksida-titana-v-protochnom-plazmohimicheskom-reaktore

УТИЛИЗАЦИОННАЯ СХЕМА ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО РЕАКТОРА СИНТЕЗА ОКСИДОВ АЗОТА ИЗ ВОЗДУХА

Θεματικοί όροι: ЗАКАЛОЧНОЕ УСТРОЙСТВО, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИЙ РЕАКТОР, UTILIZATION OF HEAT OF, ЭКСЕРГЕТИЧЕСКИЙ КПД, TEMPERING APPARATUS, A PLASMA CHEMICAL REACTOR, УТИЛИЗАЦИЯ ТЕПЛА, TEMPERATURE, ТЕМПЕРАТУРА, EXERGETIC EFFICIENCY

Деструкція барвника активний червоний 5СХ у проточному плазмохімічному реакторі ; Destruction of Azo Dye Procion Red MX-5B in Flowing Plazma-Chemical Reactor ; Деструкция красителя активный красный 5CX в проточном плазмохимическом реакторе

Συγγραφείς: Гончарук, Владислав Володимирович, Кліщенко, Роман Євгенійович, Корнієнко, Іван Володимирович, Goncharuk, V. V., Klishchenko, R. E., Kornienko, I. V.

Πηγή: Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал, 2018, № 3(119)

Θεματικοί όροι: плазмохімічний реактор, очищення, барвник активний червоний 5CX, деструкція, температура, plasma chemical reactor, purification, azo dye Procion red MX-5B, destruction, temperature, плазмохимический реактор, очистка, краситель активный красный 5CX, деструкция, 676.166+661.123

Περιγραφή αρχείου: С. 93-98; application/pdf

Relation: Гончарук, В. В. Деструкція барвника активний червоний 5СХ у проточному плазмохімічному реакторі / В. В. Гончарук, Р. Є. Кліщенко, І. В. Корнієнко // Наукові вісті КПІ : міжнародний науково-технічний журнал. – 2018. – № 3(119). – С. 93–98. – Бібліогр.: 6 назв.; https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24593; https://doi.org/10.20535/1810-0546.2018.3.130202

Διαθεσιμότητα: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/24593
https://doi.org/10.20535/1810-0546.2018.3.130202

Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур

Συγγραφείς: Дудин, С.В.

Θεματικοί όροι: ВЧ индукционный разряд, плазмохимический реактор, плазменное травление

Relation: Дудин С.В. Исследования и разработка технологических систем на базе ВЧ индукционного разряда для реактивного ионно-плазменного травления микро- и наноструктур / С.В. Дудин // Фізична інженерія поверхні. – 2009. – Том 7, № 3. – С. 171 – 194; УДК 533.924; http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/3851

Διαθεσιμότητα: http://dspace.univer.kharkov.ua/handle/123456789/3851