ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУРЫ «НИТРИД АЛЮМИНИЯ НА КАРБИДЕ КРЕМНИЯ» ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА

Authors: Гурин, Сергей, Печерская, Римма

Subject Terms: ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ СТРУКТУРА, ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ, ОСТАТОЧНЫЕ ВНУТРЕННИЕ ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-tehnologii-polucheniya-struktury-nitrid-alyuminiya-na-karbide-kremniya-dlya-chuvstvitelnogo-elementa
http://cyberleninka.ru/article_covers/15579327.png

Особенности технологии получения структуры «Нитрид алюминия на карбиде кремния» для чувствительного элемента

Source: Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки.

Subject Terms: ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ СТРУКТУРА, ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ, ОСТАТОЧНЫЕ ВНУТРЕННИЕ ТЕРМОМЕХАНИЧЕСКИЕ НАПРЯЖЕНИЯ, 7. Clean energy

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-tehnologii-polucheniya-struktury-nitrid-alyuminiya-na-karbide-kremniya-dlya-chuvstvitelnogo-elementa
http://cyberleninka.ru/article_covers/15579327.png