Гидрогенизация кристаллизованных лазерным излучением пленок a-Si:H

Subject Terms: Laser crystallization, Post-hydrogenation, Аморфный гидрогенизированный кремний, Нанокристаллический гидрогенизированный кремний, Фемтосекундные лазерные импульсы, Hydrogen content, Концентрация водорода, Пост-гидрогенизация, Лазерная кристаллизация, Nanocrystalline hydrogenated silicon, Amorphous hydrogenated silicon

File Description: application/pdf

Access URL: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43020

Гидрогенизация кристаллизованных лазерным излучением пленок a-Si:H ; Hydrogenation of Laser-crystallized a-Si:H Films

Authors: Хенкин, М.В., Амасев, Д.В., Казанский, А.Г., Форш, П.А.

Subject Terms: Аморфный гидрогенизированный кремний, Нанокристаллический гидрогенизированный кремний, Лазерная кристаллизация, Фемтосекундные лазерные импульсы, Концентрация водорода, Пост-гидрогенизация, Amorphous hydrogenated silicon, Nanocrystalline hydrogenated silicon, Laser crystallization, Hydrogen content, Post-hydrogenation

File Description: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43020

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/43020