Subject Terms:
MEMS capacitor, coupler, LTCC, microstrip directional coupler, direct insertion loss, МЭМС-перестраиваемый конденсатор, 7. Clean energy, ответвитель, микрополосковый направленный ответвитель, вносимые потери, ответвление, LTCC-технология, microstrip line, LTCC technology, coupling