МЕХАНИЗМЫ ДЕГРАДАЦИИ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК МОП-СТРУКТУР С HIGH-K ДИЭЛЕКТРИКАМИ ; MECHANISMS OF DEGRADATION OF ELECTROPHYSICAL CHARACTERISTICS OF MOS-STRUCTURES WITH HIGH-K DIELECTRICS

Συγγραφείς: Shalimova M., Afanaskov V., Khavdey E.

Πηγή: Vestnik of Samara University. Natural Science Series; Vol 19, No 3 (2013); 107-119 ; Вестник Самарского университета. Естественнонаучная серия; Vol 19, No 3 (2013); 107-119 ; 2712-8954 ; 2541-7525

Θεματικοί όροι: МОП-конденсатор, надежность, пробой оксида, затворный диэлектрик, оксиды редкоземельных элементов, MOS capacitors, reliability, oxide breakdown, gate dielectric, oxides of other rare earth elements

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: https://journals.ssau.ru/est/article/view/4628/4528; https://journals.ssau.ru/est/article/view/4628

Διαθεσιμότητα: https://journals.ssau.ru/est/article/view/4628
https://doi.org/10.18287/2541-7525-2013-19-3-107-119