-
1Academic Journal
Subject Terms: Физика, Cубмикронная литография, Измерение микротвердости, метод склерометрии, фоторезист-кремний
Relation: Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі; Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences; Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки; Серия C, Фундаментальные науки;2015. - № 12; https://elib.psu.by/handle/123456789/15438; 621.315.592: 546.28
Availability: https://elib.psu.by/handle/123456789/15438
-
2Academic Journal
Source: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies
Subject Terms: Iонно-плазмова технологія, метод склерометрії, зносостійкість, УДК 537. 533, Ионно-плазменная технология, метод склерометрии, износостойкость, Ionic-plasma technology, a method scratch-hardness test, wear resistance, Indonesia
File Description: application/pdf
-
3Academic Journal
Authors: Селиверстов, И., Селиверстова, С.
Subject Terms: ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, МЕТОД СКЛЕРОМЕТРИИ, ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ
File Description: text/html