Исследование прочностных свойств пленок фоторезиста на кремнии методом склерометрии ; Study of Strength Properties of Photoresist Films on Silicon by the Scratching Method

Authors: Вабищевич, С. А., Вабищевич, Н. В., Бринкевич, Д. И., Просолович, В. С., Янковский, Ю. Н.

Subject Terms: Физика, Cубмикронная литография, Измерение микротвердости, метод склерометрии, фоторезист-кремний

Relation: Веснік Полацкага дзяржаўнага ўніверсітэта. Серыя C, Фундаментальныя навукі; Herald of Polotsk State University. Series C, Fundamental sciences; Вестник Полоцкого государственного университета. Серия C, Фундаментальные науки; Серия C, Фундаментальные науки;2015. - № 12; https://elib.psu.by/handle/123456789/15438; 621.315.592: 546.28

Availability: https://elib.psu.by/handle/123456789/15438

ИсслЕдованиЕ ИзносостойкостИ деталеЙ С покрытИямИ нитридА титАнА

Authors: Селиверстов, Игорь Анатольевич, Селиверстова, Светлана Ростиславовна

Source: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies

Subject Terms: Iонно-плазмова технологія, метод склерометрії, зносостійкість, УДК 537. 533, Ионно-плазменная технология, метод склерометрии, износостойкость, Ionic-plasma technology, a method scratch-hardness test, wear resistance, Indonesia

File Description: application/pdf

Relation: https://www.neliti.com/publications/302567/%D0%B8%D1%81%D1%81%D0%BB%D0%B5%D0%B4%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B5-%D0%B8%D0%B7%D0%BD%D0%BE%D1%81%D0%BE%D1%81%D1%82%D0%BE%D0%B9%D0%BA%D0%BE%D1%81%D1%82%D0%B8-%D0%B4%D0%B5%D1%82%D0%B0%D0%BB%D0%B5%D0%B9-%D1%81-%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D1%8B%D1%82%D0%B8%D1%8F%D0%BC%D0%B8-%D0%BD%D0%B8%D1%82%D1%80%D0%B8%D0%B4%D0%B0-%D1%82%D0%B8%D1%82%D0%B0%D0%BD%D0%B0

Availability: https://www.neliti.com/publications/302567/%D0%B8%D1%81%D1%81%D0%BB%D0%B5%D0%B4%D0%BE%D0%B2%D0%B0%D0%BD%D0%B8%D0%B5-%D0%B8%D0%B7%D0%BD%D0%BE%D1%81%D0%BE%D1%81%D1%82%D0%BE%D0%B9%D0%BA%D0%BE%D1%81%D1%82%D0%B8-%D0%B4%D0%B5%D1%82%D0%B0%D0%BB%D0%B5%D0%B9-%D1%81-%D0%BF%D0%BE%D0%BA%D1%80%D1%8B%D1%82%D0%B8%D1%8F%D0%BC%D0%B8-%D0%BD%D0%B8%D1%82%D1%80%D0%B8%D0%B4%D0%B0-%D1%82%D0%B8%D1%82%D0%B0%D0%BD%D0%B0

ИССЛЕДОВАНИЕ ИЗНОСОСТОЙКОСТИ ДЕТАЛЕЙ С ПОКРЫТИЯМИ НИТРИДА ТИТАНА

Authors: Селиверстов, И., Селиверстова, С.

Subject Terms: ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, МЕТОД СКЛЕРОМЕТРИИ, ИЗНОСОСТОЙКОСТЬ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-iznosostoykosti-detaley-s-pokrytiyami-nitrida-titana
http://cyberleninka.ru/article_covers/14377833.png