Методы увеличения точности нанопозиционирования в системах синтеза дифракционной оптики

Source: Интерэкспо Гео-Сибирь.

Subject Terms: ЛАЗЕРНАЯ ЗАПИСЫВАЮЩАЯ СИСТЕМА, ПОГРЕШНОСТЬ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ, ДИФРАКЦИОННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/metody-uvelicheniya-tochnosti-nanopozitsionirovaniya-v-sistemah-sinteza-difraktsionnoy-optiki
http://cyberleninka.ru/article_covers/15816960.png