СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНКИ ОКСИНИТРИДА ЦИРКОНИЯ ZrOxNy КАК ДАТЧИКА ТЕМПЕРАТУРЫ

Authors: Краснов Матвей Александрович, Янилкин Игорь Витальевич, Гумаров Амир Илдусович, Рогов Алексей Михайлович, Юсупов Роман Валерьевич

Contributors: Казанский (Приволжский) федеральный университет

Subject Terms: оксинитрид циркония, тонкая пленка, терморезистор

Relation: ИТОГОВАЯ НАУЧНО-ПРАКТИЧЕСКАЯ КОНФЕРЕНЦИЯ ПРОФЕССОРСКО-ПРЕПОДАВАТЕЛЬСКОГО СОСТАВА ИНСТИТУТА ФИЗИКИ КАЗАНСКОГО ФЕДЕРАЛЬНОГО УНИВЕРСИТЕТА; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/net/183842/-1/F_59_3___Tezisy_14_02_2023_fin_041.pdf; https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/183842; 681.586.36

Availability: https://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/183842