Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2

Authors: Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Subject Terms: Plasma - condensate accumulation system, Реактивное магнетронное распыление, Near - equilibrium steady - state condensation, Квазірівноважна стаціонарна конденсація, Накопичувальна система плазма - конденсат, Нітрид алюмінію, Реактивне магнетронне розпилення, Нитрид алюминия, Квазиравновесная стационарная конденсация, Накопительая система плазма - конденсат, Aluminum nitride, Reactive magnetron sputtering

File Description: application/pdf

Access URL: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029

Отримання шарів AlN при магнетронному розпиленні алюмінію в газовій суміші Ar + N2 ; Получение слоев AlN при магнетронном распылении алюминия в газовой смеси Ar + N2 ; Formation of AlN Layers at Magnetron Sputtering of Aluminum in Ar + N 2 Gas Mixture

Authors: Корнющенко, Ганна Сергіївна, Корнющенко, Анна Сергеевна, Korniushchenko, Hanna Serhiivna

Subject Terms: Нітрид алюмінію, Квазірівноважна стаціонарна конденсація, Реактивне магнетронне розпилення, Накопичувальна система плазма - конденсат, Нитрид алюминия, Квазиравновесная стационарная конденсация, Реактивное магнетронное распыление, Накопительая система плазма - конденсат, Aluminum nitride, Near - equilibrium steady - state condensation, Reactive magnetron sputtering, Plasma - condensate accumulation system

File Description: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36029

Ефекти самоорганізації при квазірівноважній стаціонарній конденсації

Authors: Korniushchenko, Hanna Serhiivna, Kosminska, Yuliia Oleksandrivna

Subject Terms: nanostructure, структурообразование, quasi-equilibrium stationary condensation, наноструктура, structure formation, квазиравновесная стационарная конденсация, квазірівноважна стаціонарна конденсація, структуроутворення

File Description: application/pdf

Access URL: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40779

Ефекти самоорганізації при квазірівноважній стаціонарній конденсації

Authors: Корнющенко, Ганна Сергіївна, Корнющенко, Анна Сергеевна, Korniushchenko, Hanna Serhiivna, Космінська, Юлія Олександрівна, Косминская, Юлия Александровна, Kosminska, Yuliia Oleksandrivna, Калашник, А.В.

Subject Terms: наноструктура, nanostructure, квазірівноважна стаціонарна конденсація, квазиравновесная стационарная конденсация, quasi-equilibrium stationary condensation, структуроутворення, структурообразование, structure formation

File Description: application/pdf

Relation: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40779

Availability: http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/40779