Качественный и количественный анализ пленок нитрида кремния методом ИК-спектроскопии

Source: Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники.

Subject Terms: КОНЦЕНТРАЦИЯ СВЯЗЕЙ АТОМОВ, РАЗЛОЖЕНИЕ ПИКОВ, ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ОСАЖДЕНИЯ

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15610035.png
http://cyberleninka.ru/article/n/kachestvennyy-i-kolichestvennyy-analiz-plenok-nitrida-kremniya-metodom-ik-spektroskopii