Разработка технологии изготовления скрытого мостового соединения проводников в производстве гибридных интегральных схем

Authors: Рогожников, Дмитрий Сергеевич

Contributors: Шестериков, Евгений Викторович

Subject Terms: мостовое соединение, контактная фотолитография, гибридные интегральные схемы, диоксид кремния, оксид алюминия, a bridge connection, contact photolithography, hybrid integrated circuits, silicon dioxide, aluminum oxide, 16.04.01, 621.382.049.776.002

File Description: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/54642

ФОРМИРОВАНИЕ МИКРОРЕЛЬЕФА МЕТОДАМИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ЛИТОГРАФИИ И КОНТАКТНОЙ ФОТОЛИТОГРАФИИ

Authors: Гребнева, Юлия, Данилина, Тамара, Мошкина, Александра, Чистоедова, Инна

Subject Terms: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png

Формирование микрорельефа методами электронно-лучевой литографии и контактной фотолитографии

Source: Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники.

Subject Terms: ОПТИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, КВАНТОВАЯ ЭФФЕКТИВНОСТЬ, МИКРОРЕЛЬЕФ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, КОНТАКТНАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/formirovanie-mikroreliefa-metodami-elektronno-luchevoy-litografii-i-kontaktnoy-fotolitografii
http://cyberleninka.ru/article_covers/14529123.png