ИССЛЕДОВАНИЯ СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ МЕТАЛЛИЗАЦИИ СТРУКТУР «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», ПОЛУЧЕННОЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Συγγραφείς: Нищев, Константин, Мартыненко, Валентин, Беглов, Владимир, Гришанин, Алексей, Елисеев, Вячеслав, Малыгин, Михаил, Новопольцев, Михаил, Юдин, Вячеслав

Θεματικοί όροι: СИЛОВЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ, СТРУКТУРЫ «КРЕМНИЙ НА МОЛИБДЕНЕ», МНОГОСЛОЙНЫЕ МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ, АДГЕЗИЯ, ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ ЦАРАПАНИЕ (СКРЕТЧ-ТЕСТИРОВАНИЕ), STRUCTURE "SILICON ON MOLYBDENUM", MEASURING SCRATCHING (SCRATCH TEST)

Περιγραφή αρχείου: text/html

Διαθεσιμότητα: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovaniya-svoystv-mnogosloynoy-metallizatsii-struktur-kremniy-na-molibdene-poluchennoy-metodom-magnetronnogo-raspyleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/15542639.png