СКОРОСТЬ РОСТА ПЛЕНОК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ В ЗАВИСИМОСТИ ОТ ПРИЛОЖЕННОЙ МОЩНОСТИ

Authors: Струнин В.И., Демин А.С., Худайбергенов Г.Ж.

Subject Terms: аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/skorost-rosta-plenok-amorfnogo-kremniya-v-zavisimosti-ot-prilozhennoy-moschnosti
http://cyberleninka.ru/article_covers/15910144.png

ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

Authors: Байсова, Б., Демин, А., Пушкарев, А., Струнин, В., Худайбергенов, Г.

Subject Terms: АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, МЕТАСТАБИЛЬНЫЕ СОСТОЯНИЯ АРГОНА, ЗАСЕЛЕННОСТЬ СОСТОЯНИЙ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-protsessa-osazhdeniya-tonkih-plenok-amorfnogo-kremniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/15473005.png

Моделирование аргон-гелий-силановой плазмы высокочастотного емкостного разряда

Source: Вестник Омского университета.

Subject Terms: аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния, 7. Clean energy

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/modelirovanie-argon-geliy-silanovoy-plazmy-vysokochastotnogo-emkostnogo-razryada
http://cyberleninka.ru/article_covers/15830214.png

Скорость роста пленок аморфного кремния в зависимости от приложенной мощности

Source: Вестник Омского университета.

Subject Terms: аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния, 7. Clean energy

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/skorost-rosta-plenok-amorfnogo-kremniya-v-zavisimosti-ot-prilozhennoy-moschnosti
http://cyberleninka.ru/article_covers/15910144.png

Влияние внешних параметров осаждения на структурные изменения в тонких пленках аморфного кремния

Source: Вестник Омского университета.

Subject Terms: аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотный разряд, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15830213.png
http://cyberleninka.ru/article/n/vliyanie-vneshnih-parametrov-osazhdeniya-na-strukturnye-izmeneniya-v-tonkih-plenkah-amorfnogo-kremniya

Исследование процесса осаждения тонких пленок аморфного кремния

Source: Вестник Омского университета.

Subject Terms: АРГОН-СИЛАНОВАЯ ПЛАЗМА, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, МЕТАСТАБИЛЬНЫЕ СОСТОЯНИЯ АРГОНА, ЗАСЕЛЕННОСТЬ СОСТОЯНИЙ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЙ РАЗРЯД, ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК, ТОНКИЕ ПЛЕНКИ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, 7. Clean energy

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article_covers/15473005.png
http://cyberleninka.ru/article/n/issledovanie-protsessa-osazhdeniya-tonkih-plenok-amorfnogo-kremniya

Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда

Authors: Байсова, Бибигуль Тулегеновна, Демин, Александр Сергеевич, Пушкарев, Алексей Александрович, Струнин, Владимир Иванович, Худайбергенов, Гамзат Жапарович

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2013. Т. 56, № 1. С. 63-67

Subject Terms: плазма аргон-силановая, тлеющий разряд, метастабильные состояния аргона, заселенность состояний, высокочастотные разряды, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния

File Description: application/pdf

Relation: koha:001140353; https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140353

Availability: https://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/koha:001140353