Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией

Συγγραφείς: Гавриленко, Александр Вячеславович

Συνεισφορές: Конищев, Максим Евгеньевич

Θεματικοί όροι: реактивное магнетронное распыление, гистерезис, температура плазмы, температура атмосферы вакуумной камеры, метод оценки температуры, reactive magnetron sputtering, hysteresis, plasma temperature, the temperature of the atmosphere of the vacuum chamber, method for estimating temperature, 14.03.02, 621.793.7:621.385.64

Περιγραφή αρχείου: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76399

Διαθεσιμότητα: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76399