Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии

Authors: Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A., Vasilyeva, I. E., Strunevich, S. K., Proydakova, O. A.

Subject Terms: КРЕМНИЙ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ, ПРИМЕСИ, TRICHLOROSILANE, ТРИХЛОРСИЛАН, ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY WITH MAES PHOTODIODES ARRAYS, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ФОТОДИОДНЫМИ ЛИНЕЙКАМИ МАЭС, SILICON TETRACHLORIDE, IMPURITIES

File Description: application/pdf

Access URL: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526

Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии ; Atomic-emission determination of impurities in trichlorosilane and silicon tetrachloride

Authors: Шабанова, Е. В., Джугашвили, А. А., Васильева, И. Е., Струневич, С. К., Пройдакова, О. А., Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A., Vasilyeva, I. E., Strunevich, S. K., Proydakova, O. A.

Subject Terms: TRICHLOROSILANE, SILICON TETRACHLORIDE, IMPURITIES, ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY WITH MAES PHOTODIODES ARRAYS, ТРИХЛОРСИЛАН, КРЕМНИЙ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ, ПРИМЕСИ, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ФОТОДИОДНЫМИ ЛИНЕЙКАМИ МАЭС

File Description: application/pdf

Relation: Аналитика и контроль. 2012. № 1; http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526

Availability: http://elar.urfu.ru/handle/10995/42526

Атомно-эмиссионное определение примесей в трихлорсилане и четырёххлористом кремнии

Authors: Шабанова, Е. В., Джугашвили, А. А., Васильева, И. Е., Струневич, С. К., Пройдакова, О. А., Shabanova, E. V., Dzhugashvili, A. A., Vasilyeva, I. E., Strunevich, S. K., Proydakova, O. A.

Index Terms: TRICHLOROSILANE, SILICON TETRACHLORIDE, IMPURITIES, ATOMIC-EMISSION SPECTROMETRY WITH MAES PHOTODIODES ARRAYS, ТРИХЛОРСИЛАН, КРЕМНИЙ ЧЕТЫРЁХХЛОРИСТЫЙ, ПРИМЕСИ, АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ФОТОДИОДНЫМИ ЛИНЕЙКАМИ МАЭС, Article, info:eu-repo/semantics/article, info:eu-repo/semantics/publishedVersion

URL: http://hdl.handle.net/10995/42526
Аналитика и контроль. 2012. № 1