Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков

Subject Terms: импедансометрические датчики, электрохимический импеданс датчиков, кремний-углеродные пленки, электрохимическое осаждение, нанокристаллические пленки, легирование пленок

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/49869