Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора

Subject Terms: четырехэлектродный метод измерения, измерение удельного сопротивления, газоанализаторы, удельное сопротивление, полупроводниковые газоанализаторы, полупроводниковые сенсоры

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992

Измерение удельного сопротивления поверхностного слоя полупроводникового газоанализатора

Authors: Карпович, Дмитрий Семенович, Анкуда, Максим Анатольевич, Олиферович, Надежда Михайловна

Subject Terms: газоанализаторы, полупроводниковые газоанализаторы, удельное сопротивление, измерение удельного сопротивления, полупроводниковые сенсоры, четырехэлектродный метод измерения

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992; 621.317.3

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/58992