Моделирование роста плёнок на фоточувствительных структурах кремния

Authors: Хоробров В. С., Шишкина Д. А., Гурская А. В., Ерендеев Ю. П., Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Самарский национальный исследовательский университет им. С. П. Королева (Самарский университет), Институт информатики и кибернетики

Subject Terms: 29.31, 535.41

Subject Geographic: COMSOL Multiphysics, газофазное осаждение, карбид кремния, моделирование роста пленок, оптические покрытия, фоточувствительные структуры кремния

File Description: Электрон. дан. (1 файл : 5,7 Мб)

Relation: RU\НТБ СГАУ\ВКР20220621142619

Availability: http://repo.ssau.ru/handle/Vypusknye-kvalifikacionnye-raboty/Modelirovanie-rosta-plenok-na-fotochuvstvitelnyh-strukturah-kremniya-98208