-
1Academic Journal
Authors: V. V. Novopashin, L. A. Skvortsov, M. I. Skvortsova, В. В. Новопашин, Л. А. Скворцов, М. И. Скворцова
Source: Fine Chemical Technologies; Vol 11, No 4 (2016); 50-55 ; Тонкие химические технологии; Vol 11, No 4 (2016); 50-55 ; 2686-7575 ; 2410-6593 ; 10.32362/2410-6593-2016-11-4
Subject Terms: фототермическая радиометрия, reactive thermal evaporation, activated reactive thermal evaporation, electron beam evaporation, absorption, stoichiometry, photothermal radiometry, реактивное термоиспарение, активированное реактивное термоиспарение, электронно-лучевое испарение, поглощение, стехиометрия состава
File Description: application/pdf
Relation: https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/39/40; https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/39/228; Maissel L.I., Glang R. Handbook of thin film technology. New York: McGraw-Hill, 1970. 800 p.; Rao K.N. // Opt. Eng. 2002. V. 41. P. 2357-2364.; Зверев Г.М., Левчук Е.А., Скворцов Л.А.// Квантовая электроника. 1977. Т. 4. № 2. С. 413-416.; Колодный Г.Я., Левчук Е.А., Мосиевский В.А., Новопашин В.В., Скворцов Л.А., Полетаев В.Н. // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и электроника. 1988. Т. 48. № 4. С. 100-105.; Narasimha K.R. // Proc. SPIE. 1989. V. 1019. Thin Film Technologies III. P. 49-55.; Ebert J. // Thin Solid Films. 1980. V. 1. P. 43-47.; Зверев Г.М., Кудрявцева А.П., Михайлова Т.Н., Наумов В.С., Пашков В.А., Скворцов Л.А. // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и электроника. 1979. Т. 2. С. 82-86.; Nordal P.E., Kanstad S. O. // Phys. Scr. 1979. V. 20. P. 659-663.; Зверев Г.М., Скворцов Л.А. // Известия АН СССР. Серия физическая. 1981. Т. 45. С. 644-646.; Santos R., Miranda L.C.M. // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. P. 4194-4199.; Лопаткин В.Н., Сидорюк О.Е., Скворцов Л.А. // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. С. 339-346.; Mandelis A., Riopel Y. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. № 2. P. 705-708.; Emeline A., Salinaro A., Ryabchuk V., Serpone N. // Int. J. Photoenergy. 2001. V. 3. P. 1-16.; Hoffmann M., Martin S., Choi W., Bahnemann D. // Chem. Rev. 1995. V. 95. P. 69-96.; Зверев Г.М., Колядин С.А., Левчук Е.А., Скворцов Л.А.// Квантовая электроника. 1977. Т. 12. № 2. С.1882-1888.; Skvortsov L.A. // Quantum Electronics. 2010. V. 40. P. 59-63.