Simulation of microwave plasma generator

Authors: Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo

Source: Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 23, Iss 1 (2018)
Microsystems, Electronics and Acoustics; Том 23, № 1 (2018); 16-22
Микросистемы, Электроника и Акустика; Том 23, № 1 (2018); 16-22
Мікросистеми, Електроніка та Акустика; Том 23, № 1 (2018); 16-22

Subject Terms: надвисокочастотний генератор плазми, 3D моделювання, НВЧ тракт, хвилевід, TK7800-8360, Electronics, сверхвысокочастотный генератор плазмы, 3D моделирование, СВЧ тракт, волновод, 7. Clean energy, low-temperature plasma, microwave plasma generator, 3D simulation

File Description: application/pdf

Access URL: http://elc.kpi.ua/article/download/105252/123430
https://doaj.org/article/2be1fca555b645e5ba69ad8d6ba39b23
http://elc.kpi.ua/article/view/105252
http://elc.kpi.ua/article/download/105252/123430
http://elc.kpi.ua/article/view/105252

Моделювання надвисокочастотного генератора плазми

Contributors: ELAKPI

Subject Terms: microwave plasma generator, microwave path, СВЧ тракт, надвисокочастотний генератор плазми, waveguide, сверхвысокочастотный генератор плазмы, 7. Clean energy, 3D simulation, 3D моделювання, НВЧ тракт, 13. Climate action, хвилевід, волновод, 3D моделирование

File Description: application/pdf

Access URL: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33097