Высокоскоростное осаждение CrAlN покрытий с помощью магнетронного распыления

Authors: Осипова, Елизавета Сергеевна

Contributors: Сиделёв, Дмитрий Владимирович

Subject Terms: реактивное магнетронное распыление, высокочастотная плазма, горячая мишень, радиочастотный плазменный генератор, твёрдость, reactive magnetron sputtering, high-frequency plasma, hot target, radio frequency inductively-coupled plasma, hardness, 14.03.02, 621.793.182.02:669.26.058

File Description: application/pdf

Relation: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75070

Availability: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/75070