Влияние слоя поликристаллического кремния на механизмы токопереноса в контактах «металл – p-кремний» ; Вплив шару полікристалічного кремнію на механізми струмопереносу в контактах «метал - р-кремній» ; The influence of the layer of polycrystalline silicon on the mechanisms of current transport in contacts metal - p-silicon'

Authors: Кулинич, О.А., Кулініч, О.А., Kulinich, O.

Subject Terms: поликристаллы, поликристаллический кремний, процессы туннелирования, электронная сканирующая микроскопия, полікристали, полікристалічний кремній, процеси тунелювання, електронна скануюча мікроскопія, the polycrystals, polycrystalline silicon, processes tunneling, scanning electron microscopy

File Description: application/pdf

Relation: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2552

Availability: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2552