Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния

Subject Terms: кислотные травители, травление кремниевых пластин, пластины монокристаллического кремния, травление кремния, монокристаллический кремний

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Subject Terms: условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, пластины монокристаллического кремния, кремниевые пластины, металлические покрытия, резерфордовское обратное рассеяние

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Subject Terms: конические структуры, комбинационное рассеяние, пластины монокристаллического кремния, сканирующая электронная микроскопия

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700

Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния

Authors: Локун, Р. А., Мурашкевич, Анна Николаевна

Subject Terms: монокристаллический кремний, пластины монокристаллического кремния, травление кремния, травление кремниевых пластин, кислотные травители

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888; 546.28.004; 66.10.915.921

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44888

Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремнии ионно-лучевым распылением Mo, Cr

Authors: Барайшук, С. М., Вертель, М., Будзинский, М., Бобрович, Олег Георгиевич, Михалкович, О. М.

Subject Terms: металлические покрытия, пластины монокристаллического кремния, условия ионного ассистирования, ионно-ассистированное осаждение, резерфордовское обратное рассеяние, кремниевые пластины

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602; 538.97; 539.23; 539.25

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/44602

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Authors: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Subject Terms: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

File Description: application/pdf

Relation: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700; 621.315.592

Availability: https://elib.belstu.by/handle/123456789/9700

Роль пластической деформации в получении нанокремния ; Роль пластичної деформації в отриманні нанокремнія ; The role of plastic deformation in obtaining nanostructure silicon

Authors: Кулинич, О.А., Кулініч, О.А., Kulinich, O.

Subject Terms: наноструктурированный кремний, пластины монокристаллического кремния, химические избирательные травители, электрохимическое травление, наноструктуровані кремній, пластини монокристалічного кремнію, хімічні виборчі травители, електрохімічне травлення, nanostructured silicon, a wafer of monocrystalline silicon, chemical electoral stain, electrochemical etching

File Description: application/pdf

Relation: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2557

Availability: http://dspace.oneu.edu.ua/jspui/handle/123456789/2557

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Authors: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Subject Terms: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

File Description: application/pdf

Relation: 621.315.592; https://openrepository.ru/article?id=33352

Availability: https://openrepository.ru/article?id=33352

Исследование конических структур, сформированных на поверхности пластин монокристаллического кремния, методами комбинационного рассеяния и сканирующей электронной микроскопии

Authors: Францкевич, Н. В., Францкевич, А. В., Федотов, А. К., Мазаник, А. В.

Index Terms: комбинационное рассеяние, сканирующая электронная микроскопия, конические структуры, пластины монокристаллического кремния

URL: http://hdl.handle.net/rour/33352uri