-
1
Contributors: Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Subject Terms: электронные учебники, фотолитография, электронная техника, фотохимические реакции, пластины (фотолитография), загрязнение поверхности пластины (фотолитография), вакуумная гигиена, фоторезисторы, фотошаблоны, подложки, перенос изображения, фотолитографические процессы плазменные, фотослои, изображения (фотолитография), полупроводниковое материаловедение, планирование эксперимента, методы оптимизации, физико-химическая обработка, безопасность работы, программы учебных курсов
File Description: application/pdf
Relation: vtls:000379859; http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000379859
-
2
Contributors: Томский государственный университет Химический факультет Кафедра аналитической химии
Subject Terms: электронные учебники, фотолитография, электронная техника, фотохимические реакции, пластины (фотолитография), загрязнение поверхности пластины (фотолитография), вакуумная гигиена, фоторезисторы, фотошаблоны, подложки, перенос изображения, фотолитографические процессы плазменные, фотослои, изображения (фотолитография), полупроводниковое материаловедение, планирование эксперимента, методы оптимизации, физико-химическая обработка, безопасность работы, программы учебных курсов
File Description: application/pdf
Relation: vtls:000379859; https://openrepository.ru/article?id=322986
Availability: https://openrepository.ru/article?id=322986