The problem of increasing the efficiency of monitoring and control of plasma chemical process ; Пути повышения эффективности контроля и управления плазмохимическими процессами ; Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами

Authors: Кравченко, Ю. С., Осадчук, В. С., Кравченко, С. Ю.

Source: Visnyk of Vinnytsia Politechnical Institute; No 6 (2007); 119-125 ; Вестник Винницкого политехнического института; № 6 (2007); 119-125 ; Вісник Вінницького політехнічного інституту; № 6 (2007); 119-125 ; 1997-9274 ; 1997-9266

Subject Terms: plasma-chemical processes, microelectronic technology, control, sensor, plasma-chemical etching, controller, плазмохімічні процеси, мікроелектронна технологія, контроль, управління, сенсор-датчик, плазмохімічне травлення, контролер, плазмохимимческие процессы, микроэлектронная технология, контроль. управление. сенсор-датчик, плазмохимимческое травление, конроллер

File Description: application/pdf

Relation: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/545/544; https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/545

Availability: https://visnyk.vntu.edu.ua/index.php/visnyk/article/view/545