Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/120057

Availability: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/120057
https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/net/123080/1/Part+3%281%29.pdf; https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/123080

Availability: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/123080
https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Authors: Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/net/126056/1/Part+3%281%29.pdf; https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/126056

Availability: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/126056
https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/bitstream/net/121592/1/Part+3%281%29.pdf; https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/121592

Availability: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/121592
https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196; http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/118523

Availability: http://dspace.kpfu.ru/xmlui/handle/net/118523
https://vufind.kpfu.ru/Record/RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2F%D0%923%D1%8F73$2F%D0%A3313$2D356196

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Authors: Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Source: RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2FВ3я73$2FУ313$2D356196

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://openrepository.ru/article?id=162658

Availability: https://openrepository.ru/article?id=162658

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://openrepository.ru/article?id=161005

Availability: https://openrepository.ru/article?id=161005

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://openrepository.ru/article?id=159354

Availability: https://openrepository.ru/article?id=159354

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://openrepository.ru/article?id=155944

Availability: https://openrepository.ru/article?id=155944

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Subject Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

Relation: https://openrepository.ru/article?id=157647

Availability: https://openrepository.ru/article?id=157647

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Authors: Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Source: RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2FВ3я73$2FУ313$2D356196

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии, Electronic

URL: http://hdl.handle.net/rour/165963uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Authors: Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

URL: http://hdl.handle.net/rour/164309uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Authors: Удовиченко С. Ю., Тюменский государственный университет

Source: RU$2FTUMENTEMPORARY$2FBOOK$2FВ3я73$2FУ313$2D356196

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии, Electronic

URL: http://hdl.handle.net/rour/162658uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

URL: http://hdl.handle.net/rour/161005uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

URL: http://hdl.handle.net/rour/159354uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

URL: http://hdl.handle.net/rour/157647uri

Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро- и наноэлектроники: учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 - Физика, магистерская программа 'Физика наноструктур и наносистем': [в 3-х ч.]. Ч. 3

Index Terms: физика, пучково-плазменные технологии, микроэлекторника, наноэлекторника, пучковые технологии, плазменные технологии

URL: http://hdl.handle.net/rour/155944uri