Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Subject Terms: тонкие оловянные пленки, металлооксидные полупроводники, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия, оксидно-оловянные пленки, неизотермическое окисление, термическое окисление, пленки металлического олова

File Description: application/pdf

Access URL: https://elib.belstu.by/handle/123456789/27150

Физические основы работы сенсоров окислительных газов на основе металлооксидных полупроводников

Contributors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 12. С. 58-65

Subject Terms: адсорбция, десорбция, диоксид азота, кислород, проводимость, металлооксидные полупроводники, сенсоры, хемосорбция, поликристаллические пленки

File Description: application/pdf

Access URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000444427

Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Subject Terms: тонкие оловянные пленки, металлооксидные полупроводники, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия, оксидно-оловянные пленки, неизотермическое окисление, термическое окисление, пленки металлического олова

File Description: application/pdf

Access URL: https://openrepository.ru/article?id=36297

Физические основы работы сенсоров окислительных газов на основе металлооксидных полупроводников

Authors: Гаман, Василий Иванович

Contributors: Томский государственный университет Радиофизический факультет Кафедра полупроводниковой электроники

Source: Известия высших учебных заведений. Физика. 2011. Т. 54, № 12. С. 58-65

Subject Terms: кислород, диоксид азота, хемосорбция, поликристаллические пленки, металлооксидные полупроводники, адсорбция, десорбция, сенсоры, проводимость

File Description: application/pdf

Relation: vtls:000444427; http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000444427

Availability: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000444427

Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Authors: Зарапин, Виталий Георгиевич, Лугин, Валерий Геннадьевич, Березняцкий, А. В., Жарский, Иван Михайлович

Subject Terms: термическое окисление, металлооксидные полупроводники, тонкие оловянные пленки, неизотермическое окисление, оксидно-оловянные пленки, пленки металлического олова, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия

File Description: application/pdf

Relation: 546.814 + 539.23; https://openrepository.ru/article?id=36297

Availability: https://openrepository.ru/article?id=36297

Температурная зависимость характеристик сенсоров H2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y и Au/SnO2:Sb, Ag, Y ; Temperature dependence of characteristics of the hydrogen sensors based on thin films of Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y и Au/SnO2:Sb, Ag, Y

Authors: Ким, Станислав Витальевич, Алмаев, Алексей Викторович

Source: Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Россия, Томск, 25-28 апреля 2017 г. Томск, 2017. Т. 1 : Физика. С. 162-164

Subject Terms: металлооксидные полупроводники, хемосорбция, диоксиды, сенсоры водорода, олово, тонкие пленки, температурная зависимость

File Description: application/pdf

Relation: vtls:000623312; http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000623312

Availability: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000623312

Температурная зависимость характеристик сенсоров Н2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/Sn02:Sb,Ag,Y

Authors: Алмаев, Алексей Викторович, Ким, Станислав Витальевич

Source: Труды XIII Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов, Томск, 17-18 мая 2016 г. Томск, 2016. С. 9-11

Subject Terms: температурная зависимость, тонкие пленки, сенсоры водорода, металлооксидные полупроводники

File Description: application/pdf

Relation: vtls:000566010; http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000566010

Availability: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000566010

Температурная зависимость характеристик сенсоров H2 на основе тонких пленок Pt/Pd/Au/SnO2:Sb, Ag, Y

Authors: Ким, Станислав Витальевич

Source: Наука. Технологии. Инновации : сборник научных трудов, г. Новосибирск, 05-09 декабря 2016 г. : в 9 ч. Новосибирск, 2016. Ч. 6. С. 94-96

Subject Terms: металлооксидные полупроводники, хемосорбция, диоксиды, сенсоры водорода, олово, тонкие пленки, температурная зависимость

File Description: application/pdf

Relation: vtls:000724044; http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000724044

Availability: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000724044

Исследование процессов термического окисления тонких оловянных пленок

Authors: Зарапин, Виталий Георгиевич, Лугин, Валерий Геннадьевич, Березняцкий, А. В., Жарский, Иван Михайлович

Index Terms: термическое окисление, металлооксидные полупроводники, тонкие оловянные пленки, неизотермическое окисление, оксидно-оловянные пленки, пленки металлического олова, тонкопленочные оксидно-оловянные покрытия, Article

URL: http://hdl.handle.net/rour/36297uri