Impact of Post-Deposition Heat Treatment on the Microstructure and Mechanical Properties of Boron Nitride Thin Films Prepared by Radio Frequency Magnetron Sputtering ; Вплив термообробки на мікроструктуру та механічні властивості тонких плівок нітриду бору, отриманих методом радіочастотного магнетронного розпилення

Authors: Singh, Mukhtiar, Abaszade, Rashad, Zapukhlyak, Ruslan, Kotsyubynsky, Volodymyr, Abaszadeh, Fuad

Source: Physics and Chemistry of Solid State; Vol. 26 No. 3 (2025); 686-693 ; Фізика і хімія твердого тіла; Том 26 № 3 (2025); 686-693 ; 2309-8589 ; 1729-4428

Subject Terms: boron nitride, magnetron sputtering, wear resistance, surface hardness, morphology, нітрид бору, магнетронне розпилення, зносостійкість, твердість, морфологія

File Description: application/pdf

Relation: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/9508/9470; https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/9508

Availability: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/9508
https://doi.org/10.15330/pcss.26.3.686-693

Crystalline Size and Intrinsic Strain of Hexagonal CdTe Thin Films ; Розмір кристалітів та внутрішні напруження гексагональних тонких плівок CdTe

Authors: Dobrozhan, A.I., Khrypunov, G.S., Zaitsev, R.V., Meriuts, A.V., Harchenko, M.M., Khrypunova, A.L.

Source: Physics and Chemistry of Solid State; Vol. 26 No. 2 (2025); 386-394 ; Фізика і хімія твердого тіла; Том 26 № 2 (2025); 386-394 ; 2309-8589 ; 1729-4428

Subject Terms: DC magnetron sputtering, elastic properties, CdTe thin films, size–strain plot, X-ray Diffraction, магнетронне розпилення на постійному струмі, пружні властивості, тонкі плівки CdTe, графік розміру-деформації, рентгенівська дифракція

File Description: application/pdf

Relation: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/8427/9266; https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/8427

Availability: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/8427
https://doi.org/10.15330/pcss.26.2.386-394

Determining the influence of relative humidity on the working parameters of a gas sensor based on zinc oxide

Source: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Vol. 3 No. 6 (129) (2024): Technology organic and inorganic substances; 44-49
Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Том 3 № 6 (129) (2024): Технології органічних та неорганічних речовин; 44-49

Subject Terms: газовий сенсор, оксид цинку, magnetron sputtering, магнетронне розпилення, стандартні умови, standard conditions, zinc oxide, relative humidity, відносна вологість, gas sensor

File Description: application/pdf

Access URL: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/307234

MORPHOLOGICAL, OPTICAL PROPERTIES AND ELECTRONIC STRUCTURE OF ZnO THIN FILMS DOPED WITH ALUMINUM

Source: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Vol. 21 No. 1 (2024); 11-20
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 21 № 1 (2024); 11-20
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 21 № 1 (2024); 11-20

Subject Terms: RF magnetron sputtering, легування, електронна структура, doped, наноструктуровані тонкі плівки, electronic structure, ВЧ магнетронне розпилення, nanostructured thin films

File Description: application/pdf

Access URL: http://semst.onu.edu.ua/article/view/300942

Determining the influence of relative humidity on the working parameters of a gas sensor based on zinc oxide ; Визначення впливу відносної вологості на робочі параметри газового сенсору на основі оксиду цинку

Authors: Мінська, Наталя Вікторівна, Лєвтєров, Олександр Антонович, Шевченко, Ольга Сергіївна, Сігайов, Андрій Олександрович, Щербак, Олексій Сергійович, Поляков, Сергій Володимирович, Ротар, Василь Борисович, Ребров, Олександр Володимирович, Крадожон, Володимир Анатолійович, Зобенко, Наталія Василівна

Source: Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Vol. 3 No. 6 (129) (2024): Technology organic and inorganic substances; 44-49 ; Eastern-European Journal of Enterprise Technologies; Том 3 № 6 (129) (2024): Технології органічних та неорганічних речовин; 44-49 ; 1729-4061 ; 1729-3774

Subject Terms: газовий сенсор, оксид цинку, магнетронне розпилення, відносна вологість, стандартні умови, gas sensor, zinc oxide, magnetron sputtering, relative humidity, standard conditions

File Description: application/pdf

Relation: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/307234/298642; https://journals.uran.ua/eejet/article/view/307234

Availability: https://journals.uran.ua/eejet/article/view/307234

MORPHOLOGICAL, OPTICAL PROPERTIES AND ELECTRONIC STRUCTURE OF ZnO THIN FILMS DOPED WITH ALUMINUM ; МОРФОЛОГІЧНІ, ОПТИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ТА ЕЛЕКТРОННА БУДОВА ТОНКИХ ПЛІВОК ZnO ДОПОВАНИХ АЛЮМІНІЄМ

Authors: Заіка, В. В., Швачко, Н. К.

Source: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Vol. 21 No. 1 (2024); 11-20 ; Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 21 № 1 (2024); 11-20 ; Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 21 № 1 (2024); 11-20 ; 2415-3508 ; 1815-7459

Subject Terms: nanostructured thin films, RF magnetron sputtering, doped, electronic structure, наноструктуровані тонкі плівки, ВЧ магнетронне розпилення, легування, електронна структура

File Description: application/pdf

Relation: http://semst.onu.edu.ua/article/view/300942/296663; http://semst.onu.edu.ua/article/view/300942

Availability: http://semst.onu.edu.ua/article/view/300942

Формування плівок ZnO на підкладках SiC/porous-Si/Si

Authors: Abbasova, Chichek, Бачеріков, Юрій, Охріменко, Ольга, Кідалов, Валерій Віталійович, Батурін, Володимир, Карпенко, Олександр, Дяденчук, Альона Федорівна, Коломис, Олександр, Стрельчук, Віктор, Максименко, Зоя, Пономаренко, Валентина, Kidalov, Valeriy, Diadenchuk, Alona

Subject Terms: реактивне магнетронне розпилення, поруватий Si, плівка карбіду кремнію, хімічне заміщення атомів, спектри комбінаційного розсіювання та фотолюмінесценції, reactive magnetron sputtering, porous Si, silicon carbide film, chemical substitution of atoms, Raman scattering and photoluminescence spectra

File Description: application/pdf

Relation: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007

Availability: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/18007

Structure and Optical Properties of CdTe and CdS Thin Films after Hard Ultraviolet Irradiation

Authors: Kopach, G. I., Dobrozhan, A. I., Khrypunov, G. S., Mygushchenko, R. P., Kropachek, O. Y., Zaitsev, R. V., Meriuts, A. V.

Source: Фізика і хімія твердого тіла, Vol 20, Iss 2, Pp 165-170 (2019)
Physics and Chemistry of Solid State; Vol 20, No 2 (2019); 165-170
Фізика і хімія твердого тіла; Vol 20, No 2 (2019); 165-170

Subject Terms: cadmium telluride, cadmium sulfide, non-pulsed direct current magnetron sputtering, hard ultraviolet, thin films, сульфід кадмію, телурид кадмію, неімпульсне магнетронне розпилення на постійному струмі, жорсткий ультрафіолет, тонкі плівки, Physics, QC1-999

File Description: application/pdf

Access URL: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/download/490/555
https://doaj.org/article/aa54f0c9d1354381b40bf3d881e00b0d
http://journals.pu.if.ua/index.php/pcss/article/view/3836/4031
http://journals.pu.if.ua/index.php/pcss/article/view/3836

Технологія одержання плівок ZnO на поверхні мезопоруватого кремнію

Authors: Кідалов, Валерій Віталійович, Кидалов, Валерий Витальевич, Kidalov, Valerii, Дяденчук, Альона Федорівна, Дяденчук, Алена Федоровна, Diadenchuk, Alona, Батурін, В. А., Карпенко, O. Ю., Рогозін, І. В., Бачеріков, Ю. Ю., Жук, A. Г.

Subject Terms: плівка ZnO, мезопоруватий Si, високочастотне магнетронне розпилення, ZnO film, mesoporous Si, high-frequency magnetron sputtering

File Description: application/pdf

Relation: Розвиток сучасної науки та освіти: реалії, проблеми якості, інновації: матер. ІІ Міжнародної наук.-практ. інтернет-конф. (Мелітополь, 25-27 травня 2021 р.);С. 20-23; http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655

Availability: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/14655

Properties of multicomponent (Mn-Ni-Co-Al-Si-Ti) oxide spinel hierarchically organized nanostructures deposited by magnetron sputtering in two temperatures. ; Властивості багатокомпонентної (Mn-Ni-Co-Al-Si-Ti) оксид-шпінельної ієрархічно організованої наноструктури, осадженої магнетронним розпиленням при двох температурах

Authors: Sagan, P., Frugynskyi, M., Mroczka, R., Wisz, G.

Source: Physics and Chemistry of Solid State; Vol. 22 No. 3 (2021); 494-500 ; Фізика і хімія твердого тіла; Том 22 № 3 (2021); 494-500 ; 2309-8589 ; 1729-4428

Subject Terms: magnetron sputtering, films, hierarchical structure, spinel oxides, магнетронне розпилення, плівки, ієрархічні структури, оксиди шпінелі

File Description: application/pdf

Relation: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/5221/5625; https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/5221

Availability: https://journals.pnu.edu.ua/index.php/pcss/article/view/5221
https://doi.org/10.15330/pcss.22.3.494-500

Study of nanosized gold films by scanning tunneling microscopy

Authors: Zhuk, Y. O., Melnichenko, M. M., Havryliuk, D. V., Жук, Я. О., Мельниченко, М. М., Гаврилюк, Д. В.

Source: Bulletin of Taras Shevchenko National University of Kyiv. Physical and Mathematical Sciences; No. 3 (2021); 42-45 ; Вісник Київського національного університету імені Тараса Шевченка. Фізико-математичні науки; № 3 (2021); 42-45 ; 2218-2055 ; 1812-5409 ; 10.17721/1812-5409.2021/3

Subject Terms: magnetron sputtering, scanning tunneling microscope, nanosized gold films, ion sputtering, gold nanoparticles, магнетронне розпилення, скануючий тунельний мікроскоп, нанорозмірні плівки золота, іонне розпилення, наночастинки золота

File Description: application/pdf

Relation: https://bphm.knu.ua/bphm/article/view/279/220; https://bphm.knu.ua/bphm/article/view/279

Availability: https://bphm.knu.ua/bphm/article/view/279
https://doi.org/10.17721/1812-5409.2021/3.5

Features of the initial stage of the formation of Ti-Zr-Ni quasicrystalline thin films ; Особливості початкової стадії формування квазікристалічних тонких плівок системи Ti-Zr-Ni

Authors: Malykhin, S. V., Kondratenko, V. V., Kopylets, I. А., Surovitskiy, S. V., Shipkova, I. G., Mikhailov, I. F., Zubarev, E. N., Bogdanov, Yu. S.

Subject Terms: quasicrystals, approximant crystals, magnetron sputtering, thin films, x-ray diffraction, квазікристали, апроксимаційні кристали, магнетронне розпилення, рентгенівська дифракція, трансмісійна електронна мікроскопія, растрова електронна мікроскопія

File Description: application/pdf

Relation: Features of the initial stage of the formation of Ti-Zr-Ni quasicrystalline thin films / S. V. Malykhin [et al.] // Journal of nano- and electronic physics = Журнал нано- та електронної фізики. – 2020. – Vol. 12, No. 4. – P. 04011-1-04011-6.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/53863

Availability: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/53863

Структура та оптичні властивості плівок ZnO:Al,N, осаджених при зміні напруги зміщення підкладки

Contributors: Євтушенко, Арсеній Іванович, ELAKPI

Subject Terms: transmission spectra, напруга зміщення підкладки, magnetron sputtering, магнетронне розпилення, сканувальна електронна мікроскопія, ZnO:Al N, substrate bias voltage, рентгенівська дифракція, спектри пропускання, scanning electron microscopy, X-ray diffraction

File Description: application/pdf

Access URL: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/67530

Structure and phase formation features of Ti-Zr-Ni quasicrystalline films under heating ; Структурні і фазові особливості формування квазікристалічних плівок Ti-Zr-Ni при нагріванні

Authors: Malykhin, S. V., Kondratenko, V. V., Kopylets, I. А., Surovitskiy, S. V., Baturin, А. А., Mikhailov, I. F., Reshetnyak, M. V., Borisova, S. S., Bogdanov, Yu. S.

Subject Terms: quasicrystals, approximant crystals, magnetron sputtering, thin films, X-ray diffraction, квазікристали, кристали апроксиманти, магнетронне розпилення, тонкі плівки, рентгенівська дифрактометрія

File Description: application/pdf

Relation: Structure and phase formation features of Ti-Zr-Ni quasicrystalline films under heating / S. V. Malykhin [et al.] // Journal of nano- and electronic physics = Журнал нано- та електронної фізики. – 2019. – Vol. 11, No. 3. – P. 03009-1-03009-4.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/53864

Availability: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/53864

Вплив жорсткого ультрафіолету на структуру та оптичні властивості шарів CdS та CdTe ; Structure and Optical Properties of CdTe and CdS Thin Films after Hard Ultraviolet Irradiation

Authors: Копач, Галина Іванівна, Доброжан, Андрій Ігорович, Хрипунов, Геннадій Семенович, Мигущенко, Руслан Павлович, Кропачек, Ольга Юріївна, Зайцев, Роман Валентинович, Меріуц, Андрій Володимирович

Subject Terms: телурид кадмію, сульфід кадмію, неімпульсне магнетронне розпилення, постійний струм, тонкі плівки, cadmium telluride, cadmium sulfide, non-pulsed direct current magnetron sputtering, thin films

File Description: application/pdf

Relation: Вплив жорсткого ультрафіолету на структуру та оптичні властивості шарів CdS та CdTe / Г. І. Копач [та ін.] // Фізика і хімія твердого тіла = Physics and Chemistry of Solid State. – 2019. – Т. 20, № 2. – С. 165-170.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/49948

Availability: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/49948

Аналіз технології отримання вуглецевих плівок

Contributors: ELAKPI

Subject Terms: газотранспортні реакції, алмазоподібні вуглецеві плівки, магнетронне розпилення, CVD, лазерне розпилення

File Description: application/pdf

Access URL: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/37772

Вплив жорсткого ультрафіолету на структуру та оптичні властивості шарів CdS та CdTe

Subject Terms: сульфід кадмію, thin films, неімпульсне магнетронне розпилення, постійний струм, тонкі плівки, cadmium telluride, cadmium sulfide, non-pulsed direct current magnetron sputtering, телурид кадмію

File Description: application/pdf

Access URL: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/49948

Мультишарові захисні покриття з покращеними фізико-механічними властивостями на основі нітридів високоентропійних

Authors: Rohoz, Vladyslav Mykolaiovych, Buranych, Volodymyr Volodymyrovych, Bahdasarian, Artem Anatoliiovych, Smyrnova, Kateryna Vasylivna, Postolnyi, Bohdan Oleksandrovych

Subject Terms: crystal structure, magnetron sputtering, високоентропійний сплав, high-entropy alloy, nitride, hardness, твердість, магнетронне розпилення, твердость, нітрид, нитрид, магнетронного распыления, кристалічна структура, кристаллическая структура, високоентропийний сплав

File Description: application/pdf

Access URL: https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84441

Отримання плівок ZnO на макропоруватому Si (100) методом реактивного магнетронного розпилення

Authors: Кідалов, В. В., Дяденчук, Альона Федорівна, Дяденчук, Алена Федоровна, Diadenchuk, Alona, Батурин, В. А., Рогозін, І. В., Бачеріков, Ю.Ю., Жук, А. Г., Філоненко, М. М., Карпенко, О. Ю.

Subject Terms: реактивне магнетронне розпилення, плівка ZnO, макропоруватий Si, reactive magnetron sputter, ZnO film, macroporous Si

File Description: application/pdf

Relation: Елементи, прилади та системи електронної техніки (ЕПСЕТ-18): матеріали першої Міжнародної науково-практичної конференції;С. 23-25; http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855

Availability: http://elar.tsatu.edu.ua/handle/123456789/10855

Growth and structure of WC/SI multilayer X-ray mirror ; Рост и структура многослойных рентгеновских зеркал WC/Si ; Ріст та структура багатошарових рентгенівських дзеркал WC/Si

Authors: Pershyn, Yuriy P., Chumak, V. S., Shypkova, I. G., Mamon, Valentine V., Devizenko, A. Yu., Kondratenko, Valeriy V., Reshetnyak, M. V., Zubarev, Evgeniy N.

Subject Terms: WC/Si multilayer X-ray mirrors (MXMs), magnetron sputtering, X-ray diffraction, ive-layer model of the WC/Si MXM structure, WC/Si багатошарові рентгенівські дзеркала (MXM), магнетронне розпилення, рентгенівська дифракція, трансмісійна електронна мікроскопія (ТЕМ), п'ятишарова модель структури WC/Si MXM, силіциди вольфраму, карбід кремнію, методы рентгеновской дифракции, рост многослойных рентгеновских зеркал (МРЗ) WC/Si, метод прямоточного магнетронного распыления, силициды вольфрама (WSi2, W5Si3), карбид кремния, пятислойная модель строения МРЗ WC/Si

File Description: application/pdf

Relation: Growth and structure of WC/SI multilayer X-ray mirror / Y. P. Pershyn [et al.] // Вопросы атомной науки и техники = Питання атомної науки та техніки = Problems of Atomic Science and Technology. – 2018. – V. 113, Iss. 1. – P. 69-76.; http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58680

Availability: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/58680