Features of micron-sized mesa-piezoresistor

Authors: Gridchin, Victor A., Chebanov, Michail A.

Source: Sensor Electronics and Microsystem Technologies; Том 7, № 4 (2010); 42-47
Сенсорная электроника и микросистемные технологии; Том 7, № 4 (2010); 42-47
Сенсорна електроніка і мікросистемні технології; Том 7, № 4 (2010); 42-47

Subject Terms: кінцево-елементне моделювання, сенсор тиску, мезатензорезистор, концентратор механічних напруг, finite element method, pressure sensor, mesa-piezoresistor, mechanical stress concentrator, конечно-элементное моделирование, сенсор давления, концентратор механических напряжений

File Description: application/pdf

Access URL: http://semst.onu.edu.ua/article/download/116318/113225
http://ieeexplore.ieee.org/document/5568638/
http://yadda.icm.edu.pl/yadda/element/bwmeta1.element.ieee-000005568638
https://ieeexplore.ieee.org/document/5568638/
http://semst.onu.edu.ua/article/view/116318