R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов

Subject Terms: тонкопленочные элементы, композиционные металлоксиды, публикации ученых, интегральные микросхемы, вентильные металлы, наноструктурированных пленок

Access URL: https://openrepository.ru/article?id=217393

R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов

Authors: Мозалев, А. М., Плиговка, А. Н.

Subject Terms: публикации ученых, интегральные микросхемы, вентильные металлы, композиционные металлоксиды, тонкопленочные элементы, наноструктурированных пленок

Relation: https://openrepository.ru/article?id=217393

Availability: https://openrepository.ru/article?id=217393

R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов

Authors: Мозалев, А. М., Плиговка, А. Н.

Index Terms: публикации ученых, интегральные микросхемы, вентильные металлы, композиционные металлоксиды, тонкопленочные элементы, наноструктурированных пленок, Статья

URL: http://hdl.handle.net/rour/217393uri