Процесс формирования квазимонокристаллических тонкопленочных систем методом искусственной эпитаксии

Authors: Осипов А. Н.

Source: Актуальные проблемы радиоэлектроники и телекоммуникаций : материалы Всерос. науч.-техн. конф., 12-13 мая 2005 г. - Текст : электронный

Subject Geographic: квазимонокристаллические тонкопленочные системы, искусственная эпитаксия, интегральные микросхемы, метод искусственной эпитаксии, эпитаксиальные процессы, структура пленок, формирование тонкопленочных систем

Relation: RU\НТБ СГАУ\487989

Availability: http://repo.ssau.ru/handle/Aktualnye-problemy-radioelektroniki-i-telekommunikacii/Process-formirovaniya-kvazimonokristallicheskih-tonkoplenochnyh-sistem-metodom-iskusstvennoi-epitaksii-99452