Microwave plasma generation using evanescent waves

Authors: Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev

Source: Mìkrosistemi, Elektronìka ta Akustika, Vol 22, Iss 6 (2017)
Microsystems, Electronics and Acoustics; Том 22, № 6 (2017); 12-17
Микросистемы, Электроника и Акустика; Том 22, № 6 (2017); 12-17
Мікросистеми, Електроніка та Акустика; Том 22, № 6 (2017); 12-17

Subject Terms: Електроніка, microwave plasma generation, low-temperature plasma, evanescent waves, microwave generator, TK7800-8360, генерація надвисокочастотної плазми, 02 engineering and technology, еванесцентні хвилі, 01 natural sciences, 7. Clean energy, Электронника, 621.38, 0103 physical sciences, низькотемпературна плазма, Electronics, 0210 nano-technology, надвисокочастотний генератор, генерация сверхвысокочастотной плазмы, низкотемпературная плазма, эванесцентные волны, сверхвысокоча-стотный генератор

File Description: application/pdf

Access URL: http://elc.kpi.ua/article/download/105023/118444
https://doaj.org/article/4e16ad96d9284476bdf520461f9e23f5
http://elc.kpi.ua/article/download/105023/118444
http://elc.kpi.ua/article/view/105023
http://elc.kpi.ua/article/view/105023

Генерація надвисокочастотної плазми за допомогою еванесцентних хвиль

Contributors: ELAKPI

Subject Terms: генерація надвисокочастотної плазми, evanescent waves, microwave generator, еванесцентні хвилі, генерация сверхвысокочастотной плазмы, 7. Clean energy, низкотемпературная плазма, 13. Climate action, microwave plasma generation, эванесцентные волны, низькотемпературна плазма, low-temperature plasma, надисокочастотний генератор, сверхвысокочастотный генератор

File Description: application/pdf

Access URL: https://ela.kpi.ua/handle/123456789/33040