An automatic measuring system for investigation of semiconductor device structures ; Автоматическая измерительная система для исследования полупроводниковых приборных структур

Authors: Gorelov Y., Golubeva D., Kurganskaya L., Shcherbak A.

Source: Физика волновых процессов и радиотехнические системы; Vol 21, No 4 (2018); 71-78 ; Physics of Wave Processes and Radio Systems; Vol 21, No 4 (2018); 71-78 ; 1810-3189

Subject Terms: device structure, electrophysical properties, automatic measuring systems, приборные структуры, электрофизические параметры, автоматические измерительные системы

File Description: application/pdf

Relation: https://journals.ssau.ru/pwp/article/view/6954/6816; https://journals.ssau.ru/pwp/article/view/6954

Availability: https://journals.ssau.ru/pwp/article/view/6954