ЗАДЕРЖКА ПРОБОЯ МИКРОПЛАЗМЫ В P-N-ПЕРЕХОДЕ ПРИ ЭМИССИИ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА С ДВУХУРОВНЕГО ЦЕНТРА

Authors: ИОНЫЧЕВ ВАЛЕРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ, КАДЕРКАЕВ РУСЛАН РЯСТЯМОВИЧ, ШВЕЦОВ АЛЕКСАНДР СЕРГЕЕВИЧ, ШЕСТЕРКИНА АЛЕКСАНДРА АЛЕКСЕЕВНА

Subject Terms: ВКЛЮЧЕНИЕ МИКРОПЛАЗМЫ,ГЛУБОКИЕ ЦЕНТРЫ,ЗАРЯДОВОЕ СОСТОЯНИЕ ЦЕНТРА,СТАТИСТИЧЕСКАЯ ЗАДЕРЖКА ПРОБОЯ,ЭМИССИЯ НОСИТЕЛЕЙ ЗАРЯДА

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/zaderzhka-proboya-mikroplazmy-v-p-n-perehode-pri-emissii-nositeley-zaryada-s-dvuhurovnego-tsentra
http://cyberleninka.ru/article_covers/16937604.png

АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ МИКРОПЛАЗМЕННОГО ПРОБОЯ В P-N-ПЕРЕХОДАХ

Authors: ИОНЫЧЕВ ВАЛЕРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ, КАДЕРКАЕВ РУСЛАН РЯСТЯМОВИЧ, СИМДЯНКИН МИХАИЛ ИВАНОВИЧ, ШЕСТЕРКИНА АЛЕКСАНДРА АЛЕКСЕЕВНА

Subject Terms: ГЛУБОКИЕ ЦЕНТРЫ,ЗАДЕРЖКА ЛАВИННОГО ПРОБОЯ,МИКРОПЛАЗМЕННЫЙ ПРОБОЙ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/avtomatizirovannaya-ustanovka-dlya-issledovaniya-mikroplazmennogo-proboya-v-p-n-perehodah
http://cyberleninka.ru/article_covers/16937603.png

ОСОБЕННОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ ТЕХНОЛОГИИ ДВУКРАТНОГО ЭКСПОНИРОВАНИЯ ОДНОСЛОЙНОГО ФОТОРЕЗИСТА ПРИ ИЗГОТОВЛЕНИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЭТ И ФОТОШАБЛОНОВ

Authors: БУХАРОВ АЛЕКСАНДР АЛЕКСАНДРОВИЧ, ФРОЛОВ КОНСТАНТИН АЛЕКСАНДРОВИЧ, ШЕСТЕРКИНА АЛЕКСАНДРА АЛЕКСЕЕВНА

Subject Terms: МАЛОРАЗМЕРНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ,ОДНОСЛОЙНЫЙ ФОТОРЕЗИСТ,ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЕ ДВУКРАТНОЕ ЭКСПОНИРОВАНИЕ,СХЕМА ФОТОЛИТОГРАФИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА,ФОТОЛИТОГРАФИЯ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/osobennosti-primeneniya-tehnologii-dvukratnogo-eksponirovaniya-odnosloynogo-fotorezista-pri-izgotovlenii-poluprovodnikovyh-iet-i
http://cyberleninka.ru/article_covers/16087262.png