АНАЛИТИЧЕСКОЕ И ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ

Authors: ВОЛКОВ ВАДИМ СЕРГЕЕВИЧ, ФРАНЦУЗОВ МАКСИМ ВЛАДИМИРОВИЧ, РЫБЛОВА ЕЛИЗАВЕТА АНАТОЛЬЕВНА

Subject Terms: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ,ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ,КРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА,РАДИАЛЬНОЕ И ТАНГЕНЦИАЛЬНОЕ МЕХАНИЧЕСКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ,АНАЛИТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ,ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ,SEMICONDUCTOR PIEZORESISTIVE PRESSURE SENSOR,SENSING ELEMENT,SILICONE MEMBRANE,RADIAL AND TANGENTIAL MECHANICAL STRESSES,ANALYTICAL SIMULATION,NUMERICAL SIMULATION

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/analiticheskoe-i-chislennoe-modelirovanie-chuvstvitelnyh-elementov-poluprovodnikovyh-datchikov-davleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16875854.png

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ЧАСТОНОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ДЛЯ СНИЖЕНИЯ ПОГРЕШНОСТИ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНОГО ДАТЧИКА

Authors: Вергазов, И., Петрин, В., Тареева, Ю.

Subject Terms: ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ, ИНТЕГРИРУЮЩИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ, ТЕМПЕРАТУРНАЯ ПОГРЕШНОСТЬ

File Description: text/html

Availability: http://cyberleninka.ru/article/n/ispolzovanie-chastonogo-preobrazovaniya-dlya-snizheniya-pogreshnosti-tenzorezistivnogo-datchika
http://cyberleninka.ru/article_covers/15758742.png

Аналитическое и численное моделирование чувствительных элементов полупроводниковых датчиков давления

Source: Измерение. Мониторинг. Управление. Контроль.

Subject Terms: ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ,ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ,КРЕМНИЕВАЯ МЕМБРАНА,РАДИАЛЬНОЕ И ТАНГЕНЦИАЛЬНОЕ МЕХАНИЧЕСКОЕ НАПРЯЖЕНИЕ,АНАЛИТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ,ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ,SEMICONDUCTOR PIEZORESISTIVE PRESSURE SENSOR,SENSING ELEMENT,SILICONE MEMBRANE,RADIAL AND TANGENTIAL MECHANICAL STRESSES,ANALYTICAL SIMULATION,NUMERICAL SIMULATION

File Description: text/html

Access URL: http://cyberleninka.ru/article/n/analiticheskoe-i-chislennoe-modelirovanie-chuvstvitelnyh-elementov-poluprovodnikovyh-datchikov-davleniya
http://cyberleninka.ru/article_covers/16875854.png